Occasion KLA / TENCOR 2552 #293616227 à vendre en France
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KLA/TENCOR 2552 masque et wafer inspection équipement est un système de détection polyvalent, rapide et précis qui offre un balayage d'une variété de matériaux. Il fonctionne en éclairant l'objet à inspecter avec une source lumineuse puis en capturant une image de l'objet avec une caméra CCD haute résolution ou un microscope optique. L'unité est capable de mesurer les dimensions critiques et de détecter des caractéristiques sur tous les types de matériaux de filière, de masque et de plaquette, depuis les dispositifs wafer et MEMS jusqu'aux caractéristiques nano-échelle. La machine d'inspection offre des fonctionnalités d'imagerie avancées, des vitesses d'acquisition de données rapides, un traitement d'image en temps réel, et un moteur d'analyse sophistiqué, qui peut être facilement exploité. KLA 2552 propose une imagerie automatisée à haute résolution des tâches de métrologie les plus difficiles avec sa caméra au microscope et son registre optique de focalisation. Son outil de barrière diélectrique (DBS) ajoute encore plus de puissance, permettant la collecte efficace de téraoctets de données dans le domaine de l'imagerie haute résolution et de la collecte de données. La fonction DBS utilise un algorithme avancé de traitement du signal, fournissant une amélioration significative dans la détection des défauts et d'autres caractéristiques sur une surface de matrice ou de masque. En outre, l'actif a une distance de travail réglable, qui peut être ajustée entre 8 et 20 mm selon les besoins, ce qui le rend idéal pour l'inspection de plus grande filière. Cela est complété par sa conception optomécanique avancée, y compris la finition speculaire opti-stable Microner, qui garantit que les filtres optiques placés dans le modèle sont stables et fiables tout au long du processus d'inspection. L'équipement d'inspection des masques et plaquettes TENCOR 2552 est également livré avec une foule d'autres capacités et fonctionnalités qui lui permettent de maximiser la précision et la répétabilité de tout travail d'inspection. Cela comprend l'analyse automatisée des données, la saisie des métadonnées et la notification des résultats des essais, ce qui permet d'obtenir des résultats fiables et reproductibles. En outre, son progiciel évolutif peut fournir des fonctions supplémentaires, y compris la détection des fonctionnalités et la détection des sources, la détection et l'analyse des défauts, l'analyse de la couverture des zones et l'analyse des processus. Le logiciel complet comprend également des logiciels de cartographie des plaquettes et des outils de marques d'enregistrement, qui améliorent la précision de la saisie des données et des résultats du système. Tout cela fait de l'unité une solution idéale pour toute tâche d'inspection de masque ou de plaquette. Ceux qui recherchent une machine d'inspection efficace, efficace et fiable pour les applications de filière, de masque ou de plaquette ne devraient pas chercher plus loin que 2552.
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