Occasion KLA / TENCOR 2800 #9117287 à vendre en France
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Vendu
ID: 9117287
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2005
Bright field inspection systems, 12"
Dual SMIF (EFEM) with phoenix handler
GEM SECS & HSMS
Signal light tower (R,Y,G,B)
Mercury xenon lamp 350W
Wave length of illumination: 260 ~ 450nm
Selectable wave length band (Visible, UV, DUV)
Pixel size: 90 ~ 250nm
(2) ISOPORT Loadports
X & Y & Theta stage restraint locking tool
ADSC Locking screw
CRTA, MIC0, MIC1
Stored in a cleanroom
2005 vintage.
KLA/TENCOR 2800 est un équipement d'inspection de masques et de plaquettes conçu pour l'industrie des micropuces. Il utilise une combinaison d'optique avancée et de traitement automatisé pour détecter les défauts dans les circuits intégrés sur les plaquettes semi-conductrices et les masques utilisés dans la production de micropuces. Le système permet une analyse non destructive des défauts des micropuces au niveau des plaquettes et des emballages, ce qui en fait un outil essentiel dans la production de puces de haute fiabilité. L'unité optique de KLA 2800 se compose de quatre modules d'alignement, deux servant d'unités de capture d'images et deux d'unités d'alignement. Les quatre modules travaillent de concert avec une machine d'alignement optique-mécanique pour obtenir des mesures précises. Les systèmes optiques peuvent détecter des défauts avec une large gamme de tailles, de nanomètres à millimètres, et sont capables d'effectuer une imagerie bidimensionnelle pour la filière de la plaquette optiquement. L'outil comprend également un ensemble complet de capteurs composé de plusieurs composants, dont un actif de détection de vibrations Doppler laser, un réflectomètre spectroscopique automatisé et un modèle de détection automatisée des défauts. L'équipement de détection des vibrations Doppler au laser produit une image haute fidélité de la plaquette et de la filière pour la détection des défauts à haute résolution. Le réflectomètre spectroscopique automatisé examine la surface de la plaquette pour détecter les changements de réflectance qui peuvent indiquer la présence de défauts. Le système automatisé de détection des défauts est conçu pour détecter les défauts sur la matrice d'une puce, y compris les décrochages de ligne et les désalignements. TENCOR 2800 est équipé de plusieurs composants de gestion de données et de logiciels qui permettent aux utilisateurs de personnaliser et d'accéder aux données de l'unité. Les composants du logiciel permettent aux utilisateurs d'analyser les données de défaut, de catégoriser les défauts, d'établir des taux d'échantillonnage, d'accéder aux informations historiques de reconfiguration et de générer des rapports de défaut. La machine dispose également d'un outil de stockage automatisé de données avec de multiples emplacements de stockage et des points d'entrée de données accessibles. En outre, 2800 est un actif respectueux de l'environnement, offrant plusieurs mesures pour réduire l'impact environnemental et la consommation d'énergie. Le modèle est conforme à la directive européenne RoHS et peut fonctionner avec les équipements de gestion environnementale ISO 14001. Le système offre également plusieurs mesures d'économie d'énergie, telles que l'utilisation de LED de faible puissance et une ventilation réduite, ainsi que des mesures pour réduire la pollution sonore. Dans l'ensemble, KLA/TENCOR 2800 est un masque avancé et une unité d'inspection des plaquettes qui fournit une analyse précise et fiable des défauts des puces. Sa combinaison d'optique avancée et de traitement automatisé, son ensemble de capteurs complet et ses fonctionnalités logicielles robustes en font un outil inestimable dans la production de puces à haute fiabilité.
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