Occasion KLA / TENCOR 2810 #9227348 à vendre en France
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Vendu
ID: 9227348
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2009
Inspection system, 12"
Sub process: Bright inspection
Material / Chemical: OX/Si
Operating system: Windows
SMIF / FOUP
Safety standard: SEMI S2-0703
(2) ASYST Isoport Load ports
YASKAWA Transfer arm (Robot)
KLA / TENCOR Chamber
Main body
EFEM
UI
Power unit
Blower
IMC
Missing parts:
(2) TDI
FEC
(2) 0102810-002 (E) Assy, Galil DMC-2183
SAC SABB AMP SS 16 LS
002 (E), ESTED, SERIA
SMAC Board
(2) Auto focus boards
PS1
PS2
X-AMP
(2) Y-AMP
Z-AMP
(2) FRU Assy
PCA
Active ISO AMP V3
5XX
2009 vintage.
KLA/TENCOR 2810 est un équipement de pointe d'inspection des masques et des plaquettes qui permet de détecter les défauts des plaquettes et des masques et de mesurer avec précision les dimensions, les formes et l'emplacement des caractéristiques de la plaquette. KLA 2810 est conçu pour répondre aux exigences de haute précision de la fabrication actuelle de dispositifs semi-conducteurs. Le système TENCOR 2810 utilise un microscope 10X pour mesurer et identifier avec précision les défauts d'un dispositif semi-conducteur jusqu'à 1/4 micron. Des algorithmes très avancés dans l'unité lui permettent de trouver et de distinguer les défauts des caractéristiques parfaitement formées avec une précision remarquable. La machine peut numériser et mesurer jusqu'à 3 puces simultanément, ce qui permet un débit extrêmement rapide. 2810 est capable de détecter les défauts électriques et physiques, y compris les particules, les vides, les raccourcis de grille et de contact, les dislocations, les vides, les largeurs de ligne et la rugosité du bord de ligne, par l'intermédiaire de parois latérales et de dérivés de forme. L'outil est également capable d'imagerie de champ noir et de champ lumineux, ainsi que d'imagerie de diffusion, ce qui lui permet de détecter des défauts inférieurs à la limite de résolution optique. En plus des capacités de détection optique avancées de KLA/TENCOR 2810, l'actif est également capable d'effectuer une large gamme de mesures, y compris le recouvrement, le pas, la largeur, la longueur et la surface. Le modèle fournit également une interface avec un équipement externe de révision automatique des défauts (ADR), qui permet à KLA 2810 de classer et de classer les défauts rapidement et efficacement en fonction de règles et de modèles prédéterminés. TENCOR 2810 est un système polyvalent d'inspection de masque et de plaquettes de haute précision conçu pour détecter et mesurer les défauts avec une précision et une répétabilité inégalées. L'unité est capable de détecter et de mesurer un large éventail de caractéristiques électriques et physiques dans un processus unique, rapide et automatisé. Grâce à ses algorithmes avancés et à son imagerie, 2810 peuvent détecter des défauts jusqu'à un niveau de 1/4 micron tout en offrant une répétabilité en répétant les processus de vérification et de mesure en un seul clic. Cela fait de KLA/TENCOR 2810 un outil précieux dans le processus de fabrication des semi-conducteurs.
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