Occasion KLA / TENCOR 2830 #9260081 à vendre en France
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Vendu
ID: 9260081
Style Vintage: 2010
System
Module: EFEM
Includes:
YASKAWA XU-RCM9206 Robot
Pre-aligner: XU-ACP330-B10, ERCM-NS01-B003
Controller
2010 vintage.
KLA/TENCOR 2830 est un puissant équipement d'essai de plaquettes et de métrologie conçu pour mesurer les propriétés des plaquettes semi-conductrices. Il dispose d'un outil d'imagerie infrarouge haute résolution (IR) capable de détecter et de mesurer les caractéristiques microscopiques de la surface de la plaquette, y compris les défauts, les concentrations de dopants, l'épaisseur du film, les limites des grains, la résistivité et d'autres caractéristiques microstructurales. Le logiciel automatisé du système permet une analyse rapide et efficace des résultats des tests. Il est équipé d'une unité de manutention informatisée des plaquettes, d'une optique de balayage de précision et de vitesse et d'algorithmes d'analyse avancés. La machine peut accueillir des plaquettes jusqu'à 8 pouces de diamètre. KLA 2830 utilise la technologie d'imagerie pour mesurer avec précision la topographie d'une surface de wafer, produisant des images détaillées pour analyse. L'outil mesure précisément la hauteur et le motif des bosses, puits ou autres caractéristiques microscopiques d'une plaquette. Il enregistre également la réflectivité optique de la topographie dans la bande spectrale IR, fournissant une gamme appropriée de données pour identifier les défauts susceptibles d'affecter les performances du dispositif. Le logiciel automatisé de l'actif permet d'acquérir, de revoir et d'analyser rapidement les données de test des plaquettes. Ce logiciel permet aux utilisateurs de définir des paramètres personnalisés tels que la zone d'analyse, la taille des points et le taux d'échantillonnage pour acquérir le niveau de détail souhaité. Le logiciel offre également un moyen pratique de stocker et de gérer les données de test des plaquettes. Avec sa capacité d'image et d'identification des caractéristiques minuscules sur les surfaces des plaquettes, TENCOR 2830 est un outil précieux pour les tests de production avancés et les mesures électriques sur les plaquettes semi-conductrices. Il s'agit également d'une solution rentable pour l'analyse des plaquettes et la détection des défauts. En conséquence, le modèle est devenu une ressource inestimable dans l'industrie des semi-conducteurs.
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