Occasion KLA / TENCOR 3200-1226-03 #9294184 à vendre en France

KLA/TENCOR 3200-1226-03 est un équipement d'inspection de plaquettes et de masques capable de délimiter les caractéristiques de lithographie, les défauts et la métrologie sur les plaquettes et masques semi-conducteurs. Il s'agit d'un système hyperflexible et à haute résolution conçu pour soutenir le processus de fabrication de la plaquette complète, du réticule et du masque. KLA 3200-1226-03 a des capacités d'imagerie puissantes, capable de zoomer des champs de vue jusqu'à 200mm x 200mm à des caractéristiques aussi petites que 1 micron. Il dispose également d'un alignement automatisé avec une précision de 20 nm, ce qui permet de réduire le temps passé manuellement à aligner les plaquettes et les masques pendant l'inspection. Il comprend également une meilleure sensibilité à la détection des défauts, en raison de l'amélioration de la technologie d'équilibrage de la lumière et de la protection anti-rampe d'éclairage. Cette unité assure que les défauts sont plus facilement détectables et donc plus efficacement adressables. La machine se compose d'une station de balayage laser multi-faisceaux qui contient le Digital Video Processor (DVP), une caméra bi-zone haute résolution, un outil d'imagerie par réseaux de fibres, et un actif d'alignement de projection (PAS). La station de balayage laser multifaisceaux est capable d'inspecter les masques de plaquettes et de réticules à une vitesse allant jusqu'à 50 plaquettes par heure, ce qui permet d'augmenter le débit par rapport aux systèmes monocouche. La technologie multi-faisceaux permet également une inspection beaucoup plus rapide à différentes profondeurs de champ. Le processeur vidéo numérique (DVP) est capable de prendre en charge à la fois la reconnaissance de modèles avancés (APR) et les technologies d'inspection orientées fonctions (FOI). Cela permet une détection plus détaillée et fiable des défauts et simplifie l'utilisation de techniques d'inspection avancées. La caméra bi-zone haute résolution permet d'utiliser des algorithmes plus avancés afin de détecter des défauts sur une plus grande surface. Il en résulte à la fois une meilleure sensibilité aux défauts et une vitesse d'inspection accrue. Le modèle d'imagerie par réseaux de fibres est conçu pour supporter des méthodes d'éclairage multiples pour une détection accrue de différents types de défauts. Il peut également être utilisé pour inspecter plusieurs images simultanément, et est compatible avec l'éclairage bleu et UV. Ces caractéristiques sont complétées par l'équipement d'alignement de projection (PAS), qui permet un alignement automatique précis et rapide des images des plaquettes et des réticules. Cela permet d'accélérer considérablement le processus d'inspection des plaquettes et des masques. En résumé, TENCOR 3200-1226-03 est un système avancé d'inspection des plaquettes, capable de détecter rapidement et avec précision les défauts dans un large éventail de domaines. Ses principales caractéristiques comprennent le balayage laser multifaisceaux, le processeur vidéo numérique, la caméra bi-zone haute résolution, l'unité d'imagerie à fibre optique et la machine d'alignement de projection. Ces caractéristiques font de cet outil une solution optimale pour l'inspection des plaquettes et des masques.