Occasion KLA / TENCOR 3Di #9384479 à vendre en France
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ID: 9384479
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2013
System, 12"
EFEM Module
YASKAWA Robot 9206
(2) SINFONIA Load ports
2013 vintage.
KLA/TENCOR 3Di est un équipement d'inspection de masque et de plaquette de génération avancée qui est conçu pour permettre une détection supérieure des défauts pour la fabrication à grande vitesse de circuits intégrés. Il dispose de la technologie d'imagerie 3D qui utilise la hauteur, la couleur, le champ lumineux et l'information de champ sombre pour détecter les défauts microscopiques, ainsi que la capacité d'alignement des plaquettes à masquer pour comparer les modèles connus et détecter les écarts. KLA 3Di est équipé d'un détecteur de 5 mégapixels permettant l'imagerie haute résolution des caractéristiques critiques, permettant une plus grande sensibilité dans la détection des sources de défauts. Il fournit également des algorithmes puissants et spécialisés pour analyser les données rapidement et détecter avec précision les défauts paramétriques et non paramétriques. Le système est configuré avec des capacités avancées de granulation de pixels pour permettre un débit plus élevé sans sacrifier la sensibilité des défauts, la compatibilité avec les formats standard pour l'inspection automatisée des défauts, et une capacité d'accumulation de données qui stocke les images inspectées et les informations relatives aux plaquettes pour analyse et archivage. TENCOR 3Di peut détecter des défauts de l'ordre des tailles de sous-microns en 2D et 3D, avec des profils 3D visualisés en temps réel ou enregistrés comme fichier de référence pour une analyse ultérieure. Il est capable d'identifier les caractéristiques et les couches manquantes, décalées, étirées, tournées ou autrement désalignées. Il peut également extraire les données nécessaires de l'image telles que la topographie, les hauteurs de pas et les lignes de contour. L'unité est compatible avec tous les systèmes actuels de lithographie de masque, et son interface utilisateur intuitive permet aux opérateurs de personnaliser les paramètres d'inspection, de visualiser les images brutes des plaquettes et d'analyser plusieurs types de défauts. Il utilise une machine à étages compatible, ce qui le rend facile à mettre en place et rapide à inspecter ce qui peut être autrement un processus extrêmement complexe. Enfin, 3Di outil est équipé d'algorithmes intelligents de découverte automatique qui peuvent détecter des défauts subtils dans les images de nœuds avancés, fournissant un meilleur rendement et une meilleure qualité globale de l'appareil. Cela permet un délai de commercialisation plus rapide pour les appareils finis.
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