Occasion KLA / TENCOR 9110 #293606940 à vendre en France
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KLA/TENCOR 9110 Masque et Wafer Inspection Equipment est une plate-forme d'inspection automatisée haut de gamme conçue pour l'inspection automatisée des masques et wafers de lithographie. Le système KLA 9110 contient une unité optique intégrée entièrement fermée, des algorithmes d'analyse de la qualité de l'image (IQA) et une suite logicielle entièrement automatisée qui permet des résultats rapides et précis pour des travaux à grande échelle. La machine TENCOR 9110 dispose d'une plate-forme d'imagerie numérique CMOS 5MP avec des sous-systèmes optiques, d'échelle et de focalisation réglables. L'outil est conçu avec une chambre optique entièrement fermée, permettant un grand champ de vision et de grandes plages dynamiques. L'optique utilise une combinaison de lentilles, de filtres colorés et de prismes achromatiques qui permettent un champ de vision étendu, une imagerie haute résolution et une analyse d'image. L'intégration de l'algorithme KLA permet de filtrer automatiquement les défauts en fonction des motifs CAO, du type de substrat, des paramètres d'actifs et de plusieurs autres paramètres. L'algorithme est complété par un ensemble unique de mesures comprenant les spectromètres, l'imagerie et le calibrage, les indicateurs d'identification, l'acquisition et l'analyse des données d'inspection et les mesures de taille des défauts. Le modèle offre également une interface utilisateur interactive et intuitive qui aide à la qualification des défauts, à l'établissement des paramètres d'inspection, à l'ingénierie graphique, à la reconnaissance des motifs et plus encore. Cette interface graphique intuitive dispose d'un menu d'aide entièrement intégré, permettant une navigation et un fonctionnement faciles. 9110 Masque et Wafer Inspection Equipment offre une précision et une répétabilité extrêmes. Le haut niveau de précision et de visualisation du processus d'inspection rend le système bien adapté à de nombreuses applications, y compris l'inspection des plaquettes semi-conductrices, les inspections die-to-die, la représentation des défauts au niveau des plaquettes et la vérification de l'intégrité du masque et de la précision des motifs. Afin d'assurer la sécurité et la protection du personnel et du matériel, l'unité comprend une suite de composants accessoires. Ces accessoires comprennent une machine à vide, un outil de refroidissement, une robe mécanique et un couvercle auto-bloquant qui assure un risque minimal de contamination provenant de sources extérieures. KLA/TENCOR 9110 actif est également livré avec l'optimisation du poids de dérapage pour minimiser les vibrations et améliorer la précision globale lors du traitement de plus grandes tâches de production. Dans l'ensemble, KLA 9110 Masque et Wafer Inspection Model est une plate-forme d'inspection fiable, très précise et intuitive pour l'inspection automatisée des masques de lithographie et des wafers. Les nombreuses fonctionnalités, les algorithmes robustes et l'expérience utilisateur intuitive permettent aux utilisateurs de traiter les tâches d'inspection rapidement et avec précision.
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