Occasion KLA / TENCOR Archer 10 AIM+ #9236397 à vendre en France
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KLA/TENCOR Archer 10 AIM + est une solution avancée de métrologie d'imagerie et de révision des défauts (AIMD) pour l'inspection des masques et des plaquettes. Cet équipement utilise une combinaison de lumière lumineuse, d'optique avancée et de technologie de caméra rapide pour identifier les défauts sur les masques et les plaquettes. Le système utilise une source ponctuelle fortement marquée (HMPST) pour éclairer et capturer des images précises et répétables. KLA Archer 10 AIM + est équipé de deux modules d'imagerie différents basés sur l'application : Brightfield et Darkfield. Le module de champ lumineux utilise l'éclairage de champ lumineux pour la détection des défauts et l'optimisation de la lithographie et comprend l'optique de focalisation et d'imagerie et l'éclairage plein champ pour l'examen automatisé des défauts. Le champ plus sombre de l'unité est conçu pour augmenter la sensibilité lors de la détection de certains défauts tels que les additionneurs de gravure humide, le pontage et l'écaillage. La machine peut traiter à la fois de grands masques et des plaquettes, jusqu'à 6 pouces de diamètre, jusqu'à une température maximale de 700℃. TENCOR Archer 10 AIM + utilise une architecture matérielle avancée pour permettre un transfert de données et un traitement d'image rapides et efficaces. Les données d'image collectées par l'outil sont stockées dans l'actif lui-même, ce qui permet au technicien de les examiner et de les analyser à tout moment. Le modèle offre un large éventail de fonctionnalités et de technologies, y compris l'examen automatique des défauts, l'analyse avancée des données et l'appariement avancé des motifs. Il comprend également des outils d'assemblage d'objets et d'identification des défauts pour localiser et classer avec précision les défauts. De plus, l'équipement est capable d'effectuer une analyse des défauts pour quantifier les types de défauts, identifier les sensibilités des processus et produire des rapports de topologie des défauts. Afin d'assurer la précision et la répétabilité, Archer 10 AIM + dispose d'un autofocus optique, capable d'analyser un échantillon pour obtenir une focalisation optimale puis d'ajuster la vibration et la position de l'échantillon afin de rétablir la meilleure focalisation. Le système dispose également d'une option de haute luminosité pour une utilisation dans des environnements à haute température, ainsi que d'une option de faible puissance pour prolonger la durée de vie de l'unité. Enfin, KLA/TENCOR Archer 10 AIM + est équipé d'une interface graphique conviviale qui facilite la configuration et la programmation. La machine comprend également des capacités de détection et de correction d'erreurs en temps réel, ainsi que des algorithmes de post-traitement pour plus de précision. KLA Archer 10 AIM + peut aider les fabricants de plaquettes et de masques à obtenir des rendements maximums et des données de qualité fiables de manière rentable.
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