Occasion KLA / TENCOR Archer 10 XT #293750588 à vendre en France

ID: 293750588
Overlay inspection system.
KLA/TENCOR Archer 10 XT est un masque haute performance et un équipement d'inspection de plaquettes qui offre des capacités d'imagerie supérieures pour permettre la détection avancée des défauts de plaquettes et la surveillance des processus. KLA ARCHER10XT est capable de détecter avec précision les défauts jusqu'à 10nm. Le système utilise une variété de technologies, y compris le balayage à grande vitesse, les sources lumineuses à faible flux avec une résolution de pixels < 400 nm et la technologie du microscope tridimensionnel avec une résolution latérale et en z de 0,3 nm. De plus, l'unité intègre les derniers algorithmes de détection de défauts pour faciliter l'inspection à haut débit et efficace des surfaces des masques et des plaquettes. TENCOR ARCHER 10XT peut être utilisé pour des inspections automatisées 2D, 3D et basées sur des défauts des surfaces de masque et de plaquette. Il supporte plus de 500 types de défauts différents, offrant des capacités de détection et de caractérisation supérieures. La machine permet également un temps d'analyse efficace pour divers types d'inspections, y compris les largeurs de ligne/CD, l'analyse de la zone critique/CAO et l'inspection des particules/défauts. L'optique de balayage haute résolution de l'outil permet une détection haute sensibilité à 10nm ou moins. L'actif utilise un design d'architecture ouverte avec une configuration modulaire, permettant une expansion facile et la flexibilité. Il dispose d'une variété de capacités, y compris l'accès à distance et l'automatisation, le support utilisateur multiple, et multi-point de visualisation en temps réel. En outre, le modèle offre un débit de processus élevé grâce à ses options de service complet, qui comprennent le traitement FOUP, les bibliothèques d'images et le suivi des défauts. KLA Archer 10 XT comprend également une suite complète d'outils d'analyse de processus pour permettre un contrôle complet des processus de wafer. L'équipement fournit des résultats pour les plaquettes en moins de trois minutes, et une variété de modes d'acquisition de données, y compris le contrôle ponctuel, photomasque, cartes focales, scans de largeur de ligne et affichage de cartes de défauts. ARCHER10XT offre également des capacités d'automatisation complètes, y compris la planification et la coordination des tâches, l'alignement automatique et le contrôle de la focalisation, l'isolation automatique des défauts et l'analyse automatisée des données. En outre, sa conception modulaire lui permet d'être facilement amélioré avec des modules logiciels spécifiques aux processus, permettant aux clients de personnaliser leur système pour des exigences de processus uniques. Dans l'ensemble, KLA ARCHER 10XT est un masque haute performance et une unité d'inspection de plaquettes qui fournit des capacités d'imagerie à faible bruit et de détection de défauts de pointe. Avec ses capacités de processus à haut débit, de conception modulaire et d'automatisation, KLA/TENCOR ARCHER 10XT est une excellente solution pour les clients qui ont besoin d'une inspection et d'un contrôle de processus avancés.
Il n'y a pas encore de critiques