Occasion KLA / TENCOR Archer 10 XT #9250148 à vendre en France

KLA/TENCOR Archer 10 XT est un équipement d'inspection de masque et de plaquettes qui fournit un débit élevé et une métrologie précise pour une gamme de nœuds de processus semi-conducteurs. KLA ARCHER10XT est conçu pour détecter les plus petites fonctionnalités, y compris les largeurs de ligne de 0,05 µm, ce qui le rend idéal pour les nœuds de technologie haut de gamme tels que 5/5nm. Le système offre un champ de vision plus large (FOV) jusqu'à 20µm, permettant des mesures de site à site, pas à pas et répétition. Grâce à l'utilisation d'algorithmes avancés, TENCOR ARCHER 10XT peut déterminer avec précision la présence de particules et leurs caractéristiques même dans les images de contraste extrême faible. KLA/TENCOR ARCHER10XT est construit sur une plaquette de silicium avancé sur isolant (SOI) qui permet la détection de particules même dans de très petites tailles. L'optique de champ lumineux avancée, combinée à une plus grande dynamique et une plage d'exposition étendue, permet de détecter les défauts sur les surfaces sombres et réfléchissantes et à toutes les profondeurs de la couche critique. Ce qui rend l'unité unique est sa machine d'éclairage hybride qui combine champ sombre amélioré, champ lumineux, et éclairage oblique pour un meilleur contraste et l'imagerie. Le logiciel avancé de ARCHER10XT comprend des algorithmes propriétaires et la capture simultanée d'images multiples pour une sensibilité plus élevée aux défauts et une réduction des faux appels. L'outil offre en outre une large gamme de technologies de mesure en combinaison avec l'outil « Smart-Capture », facile à utiliser, qui optimise les paramètres d'inspection pour un débit élevé, la précision et la fiabilité. TENCOR ARCHER10XT offre également un ensemble unique de capacités d'inspection, y compris la détection des bords, la reconnaissance des caractéristiques et la mesure de la couche barrière. La fonction de détection de bord permet en outre une meilleure analyse des caractéristiques du masque, en scannant la couche de masque critique complète, y compris la superposition. La technologie de reconnaissance des fonctionnalités, supportée par des algorithmes avancés, permet des mesures plus rapides et plus précises de formes et de motifs complexes. Enfin, la fonction de mesure de la couche barrière offre une précision allant jusqu'à 0,01µm, assurant des mesures de motifs de haute fidélité, même pour les lignes de tranchées étroites. Combinées, ces fonctionnalités fournissent à TENCOR Archer 10 XT une solution fiable et efficace pour l'inspection des masques et des plaquettes. L'actif offre une métrologie avancée pour une gamme de nœuds de processus semi-conducteurs, avec une précision et une précision inégalées dans l'industrie.