Occasion KLA / TENCOR Archer 10 XT #9280138 à vendre en France
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Vendu
ID: 9280138
Taille de la plaquette: 12"
Overlay measurement system, 12"
With ASYST Isoport Load port, P/N: 9700-9129-01 REV. K
Dual load ports EFEM
BROOKS AUTOMATION Handler
With pre-aligner and robot
SBC Controller
Robot controller
Signal light tower: Red / orange / green
Main body
Handler
Monitor
I/O Interface board
Floppy Disk Drive (FDD)
CD ROM Drive
Tape drive
Pneumatic box
Optic
Z-Stage
Printer
Shelf
Keyboard
Mouse
Signal light tower
Missing parts:
BROOKS AUTOMATION Robot blade, P/N: 6-0002-0999-SP
BROOKS AUTOMATION, P/N: 6-0052-0887-SP
Controller
EMO
Floatation controller
(5) Motion controllers
Computer
Shutter module
Lamp housing module
PZT Controller
DC Transformer
Hard Disk Drive (HDD)
Power supply:
230 VAC, 11.3 A, 50/60 Hz, Single phase
208 VAC, 12.5 A, 50/60 Hz, 2 Phase.
KLA/TENCOR Archer 10 XT est un équipement de nouvelle génération d'inspection de masque et de plaquettes conçu pour répondre aux exigences les plus exigeantes de fabrication de semi-conducteurs. Développé par le principal fournisseur de technologie d'inspection KLA, le système dispose de plusieurs outils haut de gamme tels que la reconnaissance avancée des motifs, la mesure 3D de la surface, la corrélation numérique des images et l'analyse prédictive. KLA ARCHER10XT est le dernier modèle de la famille TENCOR de systèmes d'imagerie haute vitesse ultra-précis pour la fabrication de plaquettes et de masques, l'emballage et l'analyse des défaillances. Mettant l'accent sur la vitesse, la précision et la robustesse, TENCOR ARCHER 10XT offre des capacités d'imagerie avancées à des résolutions allant jusqu'à 133nm. Le microscope électronique à balayage (SEM) de l'unité fournit une image numérique ultra-haute résolution d'éléments tels que des portes de transistor et d'autres caractéristiques sur une plaquette. Cela peut se faire en une seule analyse, ce qui permet d'appliquer un large éventail de stratégies d'inspection. La machine peut inspecter rapidement et efficacement, et produire des données détaillées et précises qui aident à identifier les défauts ou la variabilité avec une vitesse, une précision et une précision inégalées. KLA / TENCOR ARCHER 10XT les traits ont avancé la mesure de surface 3D DefectTeller™, qui mesure la rugosité de surface pour le CD Global sans précédent (GCD), en s'identifiant et en faisant la carte des défauts avec haut repeatability et exactitude. L'analytique prophétique UltraArt™ de l'outil et les capacités de corrélation d'image numériques permettent aux utilisateurs à exactement et mesurent de manière fiable des traits sur leur appareil ou masque au détail plus parfait. L'actif peut également être facilement amélioré avec des améliorations de performance supplémentaires, repoussant les limites de l'inspection des plaquettes. Avec le processus de mise à niveau exclusif « Swap & See » de KLA/TENCOR, les clients peuvent mettre à niveau leur TENCOR Archer 10 XT sans avoir à acheter de nouveaux composants matériels, ce qui permet d'optimiser la valeur maximale et la performance totale du processus. KLA ARCHER 10XT est la solution idéale pour un large éventail de fabricants, depuis les dispositifs de sous-longueur d'onde tels que les smartphones jusqu'aux noeuds de processus de pointe pour les dispositifs semi-conducteurs de pointe. Le modèle offre une détection exceptionnelle des défauts, des économies de coûts et des performances de fabrication fiables, établissant une nouvelle norme pour les inspections des plaquettes et des masques.
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