Occasion KLA / TENCOR Archer 200 #293800299 à vendre en France
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KLA/TENCOR Archer 200 est un outil d'inspection des plaquettes et masques de nouvelle génération qui est conçu pour permettre l'inspection de métrologie avancée de la fabrication de semi-conducteurs. Il est équipé d'une « optique électronique à balayage » et de technologies propriétaires d' « alignement photomasque plein champ » pour fournir des capacités d'imagerie inégalées pour le contrôle critique des processus et l'optimisation des rendements. L'équipement KLA Archer 200 utilise une combinaison d'imagerie de contraste électronique/ion/optique à résolution submicronique et de métrologie avancée pour inspecter les défauts hors spécification des plaquettes et des masques tels que la contamination des particules, les erreurs de lithographie et les erreurs d'alignement des photomasques. Il est conçu pour fournir un haut débit, l'imagerie haute résolution et l'inspection des défauts de masque et de plaquette. Les capacités optiques électron/ion du système permettent l'imagerie précise des défauts hors spécification avec des grossissements élevés jusqu'à 70.000x. Cette résolution d'imagerie est essentielle pour des applications précises de contamination des particules et d'analyse des défauts des particules (PCD/PDCA), ainsi que pour le contrôle des processus et l'analyse verticale des points chauds. Les capacités de métrologie avancées intégrées dans TENCOR Archer 200 inspectent les caractéristiques non associées sur les photomasques et les plaquettes. Il peut détecter des défauts de l'ordre de 0,01µm à 0,1µm, y compris ceux qui sont trop petits pour être détectés avec les technologies optiques traditionnelles. Pour l'inspection des photomasques, l'Archer 200 comprend les techniques d'alignement des photomasques les plus avancées de l'industrie. Cette technologie brevetée assure une mesure précise de l'alignement sur l'ensemble du champ de vision, éliminant les erreurs dues aux erreurs de point/positionnement. L'unité est également capable de contrôler simultanément le débit et la filière, de réduire le temps de cycle et d'obtenir un rendement plus élevé. Dans l'ensemble, le KLA/TENCOR Archer 200 est une machine avancée d'inspection des masques et des plaquettes, conçue pour répondre aux normes industrielles les plus strictes et aux exigences de rendement. Ses caractéristiques de pointe dans l'industrie et ses capacités de balayage offrent une résolution d'imagerie inégalée et des capacités d'optimisation de rendement particulièrement critiques dans les applications avancées de contrôle de processus et de lithographie.
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