Occasion KLA / TENCOR Archer 300 #9258489 à vendre en France
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KLA/TENCOR Archer 300 est un équipement entièrement automatisé d'inspection des masques et plaquettes. Il est conçu pour détecter les défauts des surfaces imprimées et gravées des masques et des plaquettes avec une extrême précision. Il dispose d'un algorithme avancé de détection des défauts et d'un système d'imagerie haute résolution qui exploite au mieux la sensibilité de l'appareil dans la gamme des nanomètres. Le KLA Archer 300 comprend un poste d'inspection optique, un poste d'inspection des plaquettes et un poste de balayage. La station d'inspection optique est composée d'un microscope et d'une caméra DUV haute résolution. La machine utilise plusieurs angles d'éclairage et un ensemble d'algorithmes avancés pour détecter et analyser les défauts. Pour l'inspection des plaquettes, l'outil est équipé d'un outil d'imagerie de plaquettes haute vitesse, haute sensibilité et haute résolution. La station de balayage est utilisée pour balayer rapidement plusieurs masques ou plaquettes et détecter rapidement les défauts. TENCOR Archer 300 supporte une grande variété de types de masques et de plaquettes ainsi que des normes avancées de défauts, y compris EUV, E-beam, 248nm DUV, 193nm DUV, et 157nm DUV. Le modèle est capable d'inspecter simultanément les masques et les plaquettes, et peut également générer des rapports rapides d'analyse des défauts à mi-cycle. Pour une précision maximale, Archer 300 utilise des techniques avancées d'imagerie tolérantes aux défauts. Il supporte également plusieurs types d'algorithmes de défauts afin de répondre aux besoins de différents clients. L'équipement fonctionne avec tout type de système de métrologie, et peut également être adapté à d'autres types de systèmes d'inspection. Enfin, le KLA/TENCOR Archer 300 est très économique grâce à son faible coût de possession. Il dispose d'une source lumineuse LED de longue durée qui peut durer jusqu'à 5 ans, et sa faible consommation d'énergie assure qu'il a facilement reproductibles économies d'énergie. De plus, l'unité ne nécessite qu'une maintenance minimale, c'est-à-dire qu'elle est construite pour résister à l'épreuve du temps.
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