Occasion KLA / TENCOR Archer 300 #9301024 à vendre en France
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ID: 9301024
Overlay measurement system, 12"
With triple FOUP
(3) Load ports frontend
GEM / SECS and HSMS
E84 Enabled for OHT and AGV / RGV
(3) PIO Devices for OHT
E87 (Based on E39)
E40 / E94 / E90
CMP Measurement option
(3) Advantag Radio Frequency (RF) Carrier ID readers
Signal tower (57mm):
Red
Yellow
Green
Blue
Operation manual on CD
S2 and CE Marked
Does not include Hard Disk Drive (HDD)
2010 vintage.
KLA/TENCOR Archer 300 est un équipement d'inspection de masque et de plaquettes conçu pour assurer une surveillance de haute précision et la détection des défauts sur les dispositifs semi-conducteurs. Il est adapté pour des performances optimales dans les lignes de production et offre un haut débit et une fiabilité robuste pour la production de masse. Le cœur de KLA Archer 300 est sa technologie d'imagerie puissante. Le système utilise une technologie optique avancée basée sur le train d'impulsions pour fournir 17 µm pixel réalisation, ce qui permet la détection des défauts sous-15 µm, ce qui le rend adapté aux applications les plus exigeantes. L'architecture d'imagerie 3600 fournit une augmentation de la résolution 4X par rapport aux systèmes concurrents. TENCOR Archer 300 dispose d'une tête optique à double miroir multi-angles qui offre une plus grande résolution et une meilleure couverture de surface que les systèmes monobloc. L'unité dispose également d'une fonction de longueur de focale multiple unique qui est utilisée pour optimiser la fiabilité de détection en se concentrant automatiquement sur les caractéristiques les plus proches. Archer 300 dispose également de capacités de visualisation haute définition. Cela comprend un sous-système de visualisation qui assure une interprétation précise et l'annotation des défauts de contraste élevé. La machine supporte à la fois un moniteur portable haute performance et un poste de visualisation interactive à distance dédié. En outre, KLA/TENCOR Archer 300 prend en charge la cartographie standard et automatisée des plaquettes à l'aide du dernier algorithme KLA. Cela garantit un contrôle rapide et efficace du processus et la capacité d'ajuster rapidement les paramètres de la recette. L'outil prend également en charge le suivi hors ligne des processus, permettant un suivi continu des processus sans livraison de produits. KLA Archer 300 est une solution de production robuste et fiable conçue pour durer. L'actif offre une redondance avec un modèle de réticule à double électrode et à double étage, permettant une récupération rapide des défauts et une meilleure disponibilité et performance de l'équipement. Le système assure également un suivi et un entretien proactifs afin de maximiser le temps de disponibilité et l'efficacité de l'unité. En conclusion, la machine d'inspection des masques et plaquettes TENCOR Archer 300 offre une qualité d'image supérieure, une imagerie haute résolution et une détection précise des défauts. L'outil prend également en charge la cartographie automatisée des plaquettes, la surveillance des processus hors ligne et la redondance robuste. C'est la solution parfaite pour la surveillance et la détection des défauts de haute précision sur les dispositifs semi-conducteurs.
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