Occasion KLA / TENCOR Archer 500 AIM #9353831 à vendre en France
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Vendu
ID: 9353831
Overlay inspection system, 12"
CIM: SECS and GEM
Handler system
(3) FOUP
2013 vintage.
KLA/TENCOR Archer 500 AIM est un équipement puissant mais économique d'inspection des masques et des plaquettes, conçu pour la détection des défauts sensibles et la caractérisation précise des défauts. Équipé d'une imagerie optique avancée, ultraviolette et faisceau d'électrons, le système fournit des données détaillées et une analyse complète du masque et de la plaquette pour une compréhension complète de tous les défauts possibles. L'unité est disponible en deux configurations matérielles : l'Archer 500 et l'Archer 500G. L'Archer 500 supporte l'inspection des plaquettes simples, tandis que l'Archer 500G supporte l'inspection des plaquettes simples et les substrats jusqu'à 12 pouces de diamètre pour l'analyse la plus complète. Cela permet d'inspecter un large éventail de substrats avec la plus grande précision. Les Archer 500 et 500G disposent tous deux d'une puissante optique 4x et d'une imagerie ultraviolette 5x. La puissante puissance de grossissement optique 4x permet à la machine de détecter des défauts jusqu'à 0,25 µm de taille et plus. De plus, l'imagerie haute définition permet d'analyser en profondeur l'emplacement exact et les caractéristiques de chaque défaut. L'imagerie ultraviolette 5x permet une inspection encore plus fine, avec des tailles de défauts jusqu'à 0,2 µm détectés clairement et avec précision. Pour une analyse plus poussée et une caractérisation des défauts, les Archer 500 et 500G disposent également d'une imagerie avancée du faisceau d'électrons. Cela permet l'inspection du circuit faisceau et l'analyse de la région de grille pour assurer l'inspection la plus complète de tout défaut potentiel. En outre, l'outil est équipé d'un actif de spectroscopie dispersive d'énergie à haute résolution, permettant une analyse élémentaire précise de tout défaut identifié. Enfin, les Archer 500 et 500G bénéficient d'un logiciel d'habillage et d'analyse KLA propriétaire d'AccuSc, offrant une intégration homogène avec le modèle et une gamme complète de fonctionnalités pour l'analyse des données, la gestion et le reporting. Cela garantit que l'équipement est en mesure de fournir une compréhension exacte et complète de tout défaut ou contamination présent. Dans l'ensemble, les Archer 500 et 500G offrent un système d'inspection des masques et des plaquettes avancé mais rentable, combinant une imagerie optique, ultraviolette et faisceau d'électrons puissante, avec des fonctionnalités d'analyse complètes et un équipement logiciel AccuSc. En tant que tel, l'unité est capable d'assurer une détection et une caractérisation complètes des défauts avec la plus grande précision et précision.
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