Occasion KLA / TENCOR Archer 500 AIM #9354401 à vendre en France
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Vendu
ID: 9354401
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2013
Overlay inspection system, 12"
Handler: Standard
(3) FOUP Interfaces
CIM: SECS and GEM
2013 vintage.
KLA Archer 500 Automated Inspection Module (AIM) est un équipement d'inspection à haute vitesse, masque et wafer conçu pour améliorer le rendement dans les processus de fabrication de semi-conducteurs. C'est un élément central des solutions de contrôle de processus TENCOR, fournissant une inspection de niveau et de défaut pour permettre aux fabricants de répondre à des exigences de qualité strictes. KLA/TENCOR Archer 500 AIM dispose d'un système de détection breveté DPA (Dual Photon Absorber), qui combine un laser à diode à large bande doublé en fréquence avec des capteurs ultraviolets. Cette combinaison fournit la meilleure sensibilité de classe aux défauts de niveau de mort aussi petit que quelques nanomètres de taille. KLA Archer 500 AIM est également équipé d'un laser « vert » haute résolution pour mesurer les caractéristiques et vérifier les variations périodiques des motifs dans l'impression. L'unité est optimisée pour une utilisation automatisée en cours de fabrication, fournissant un support pour la production à haut volume en traitant rapidement jusqu'à 360 plaquettes par heure. Le grand support 18 "permet un débit optimal aussi bien pour les plaquettes standard que pour les plaquettes ultra-minces. TENCOR Archer 500 AIM offre des performances d'inspection supérieures avec un faible temps d'arrêt, grâce à sa plate-forme optique hautement fiable. Sa technologie de mise au point par image de haute précision maintient une mise au point laser constante pour jusqu'à 150 plaquettes dans une file d'attente. Et pour assurer une couverture complète du masque et de la plaquette, les algorithmes heuristiques et cellulaires de la machine calculent la meilleure façon d'inspecter une région. Archer 500 AIM offre également des capacités avancées d'analyse de données et de reporting, permettant aux utilisateurs de générer des rapports avec des informations approfondies sur les défauts de niveau wafer et die. Il dispose d'un logiciel de cartographie et d'analyse des défauts pour montrer l'emplacement exact, la taille, le type et la fréquence des défauts. Cette information est essentielle pour aider les fabricants à identifier et à corriger les défauts dans le processus de fabrication. KLA/TENCOR Archer 500 La combinaison unique de fonctionnalités et de temps de traitement rapide de l'AIM en fait la solution idéale pour les entreprises de fabrication de semi-conducteurs cherchant à maximiser leur rendement et à garantir les normes de qualité les plus élevées.
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