Occasion KLA / TENCOR Archer AIM MPX #9383055 à vendre en France
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ID: 9383055
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2005
Overlay inspection system, 12"
2005 vintage.
KLA/TENCOR Archer AIM MPX est un équipement d'inspection de masques et de plaquettes qui permet une inspection automatisée prête à la production des caractéristiques critiques et non critiques sur les photomasques et les plaquettes. Ce système intègre des technologies de pointe telles que la capacité Optimode, un flux de travail breveté de scatterométrie laser 4-Dimensional (4D) et des techniques de reconnaissance de motifs multiples pour s'assurer que tous les défauts sont identifiés de façon fiable et mesurés de façon fiable. La capacité Optimode garantit que toutes les caractéristiques du masque ou de la plaquette inspectée sont identifiées et mesurées avec précision. Il fonctionne en contrôlant la taille de la tache laser et le nombre de balayages demandés. La scatterométrie laser mesure la complexité des formes de matrice et des caractéristiques 3D, ce qui permet de mesurer des caractéristiques de contraste élevé sur des surfaces planes et complexes sans avoir besoin d'une interaction humaine. En plus de la technologie Optimode, KLA Archer AIM MPX est équipé de techniques de reconnaissance de motifs multiples pour garantir des résultats d'inspection précis. Cela comprend une détection dynamique des défauts, une sélection d'auto-seuil et une bibliothèque de modèles de fonctionnalités auto-configurables. De plus, cette unité fournit des rapports d'inspection dans divers formats, tels que JPEG, TIFF et PDF, avec jusqu'à 500x grossissement. La machine TENCOR Archer AIM MPX supporte une variété de processus de croissance et de superposition tels que la fabrication à haut volume (HVM), permettant à l'outil de mesurer avec précision les caractéristiques jusqu'à une résolution de 0,1 micron. En outre, cet actif fonctionne dans un environnement ambiant complètement sombre et maintient un profil thermique cohérent, permettant des mesures d'ultra-haute précision. En outre, Archer AIM MPX offre également un large éventail de modes d'inspection, y compris l'examen, spot, comparaison, superposition, et low-k. Le mode de révision fournit une représentation visible du masque ou de la plaquette, tandis que le mode de comparaison compare les masques côte à côte pour évaluer les non-conformités. Le mode de superposition aligne plusieurs masques pour une inspection rapide, tandis que le mode low-k est capable de mesurer la hauteur et les lignes minces des caractéristiques. Globalement, KLA/TENCOR Archer AIM MPX est un modèle fiable d'inspection des masques et des plaquettes qui offre une combinaison optimale de caractéristiques, permettant une détection rapide et précise des défauts, l'identification des pertes de rendement potentielles et l'amélioration de la précision de fabrication. Avec ses caractéristiques puissantes, le temps d'inspection est réduit et la productivité est augmentée.
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