Occasion KLA / TENCOR Archer AIM #9173737 à vendre en France

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KLA / TENCOR Archer AIM
Vendu
ID: 9173737
Overlay inspection system Specifications: 12" With dual FOUP for dram and NAND Fully automated overlay measurement module: Coherence probe Interference microscope Automated wafer handling Software: Windows XP based SW and User Interface Integrated user interface Includes: 19" LCD Screen 3.5" Floppy drive CD ROM Drive Tape drive back up system (DAT) Video hard copy printer Network: RJ45 (10 Base-T) and BNC and AUI connectors Tool options: Electrical wiring EMO Shield Archer 02S & 03 painted skins CMP Measurement (CPM+ANRA) Signal tower: (4) Lamps 40mm Currently de-installed.
KLA/TENCOR Archer AIM est un puissant équipement d'inspection de masques et de plaquettes conçu pour aider les fonderies et leurs clients à améliorer leur processus de fabrication. Le système se compose d'un laser de grande puissance, d'une optique avancée et d'une unité d'imagerie sophistiquée. Cette combinaison permet à la machine de détecter et d'identifier les défauts rapidement et avec précision, ce qui la rend inestimable pour diverses applications telles que l'inspection des masques à semi-conducteurs et des plaquettes, l'inspection des masques LCD/CNT et l'inspection des dispositifs MEMS. Le laser haute puissance est le premier composant de l'outil et est utilisé pour générer un faisceau lumineux intense. La poutre est ajustée finement de sorte que lorsqu'elle est dirigée vers une plaquette ou un masque, elle éclaire différentes caractéristiques du produit. Le faisceau est capable de détecter de petits défauts tels que les revêtements manquants, les bords, les caractéristiques de surface, et plus encore. L'optique sophistiquée permet à KLA Archer AIM d'inspecter en détail différents produits. L'optique polarise et disperse précisément le faisceau laser afin qu'il puisse identifier les structures fragiles d'une seule gravure, tant sur le masque que sur la plaquette. Il peut également localiser un enregistrement inapproprié et/ou un mauvais collage au niveau des coutures du produit, avec des capacités de détection améliorées. Le modèle d'imagerie de l'actif est composé de caméras de ligne CCD qui capturent l'image du produit avec chaque balayage de ligne. L'image capturée est passée à travers un équipement de gestion des défauts qui identifie les défauts avec ses algorithmes avancés. Tout défaut détecté peut alors être signalé avant l'entrée du produit dans la chaîne de production. En plus de ses capacités d'inspection, TENCOR Archer AIM propose également des solutions de métrologie en ligne pour une large gamme de produits. Ces mesures de métrologie peuvent être lues directement sur le moniteur lors des inspections, ce qui permet un contrôle de qualité rapide et facile. Pour tirer le meilleur parti du système Archer AIM, les utilisateurs peuvent utiliser divers outils de reporting et de gestion du workflow. Cela permet de s'assurer que les résultats sont bien suivis et tenus à jour dans une base de données centrale. En conclusion, KLA/TENCOR Archer AIM est un masque robuste, fiable et précis et une unité d'inspection des plaquettes. Il est capable de détecter et d'identifier les défauts rapidement et précisément, ce qui le rend idéal pour une variété d'applications. La machine offre également des solutions de métrologie en ligne et d'autres fonctionnalités pour aider les utilisateurs à rationaliser leur processus de production.
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