Occasion KLA / TENCOR Archer AIM+ #9176822 à vendre en France
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ID: 9176822
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2011
Overlay inspection system, 12"
Dual FOUP for DRAM and NAND
Fully automated overlay measurement module:
Coherence probe interference microscope
Automated wafer handling
Software: Windows XP based SW and user Interface
Integrated user interface
LCD Screen, 19"
Floppy drive, 3.5"
CD ROM Drive
Tape drive back up system (DAT)
Video hard copy printer
Network ready:
RJ45 (IOBase-T) BNC
AUI Connector
Tool options:
Triple FOUP
Electrical wiring
Machine power cable: 15 Meters
EMO Shield
Archer 02S & 03 painted skins
Light curtain with safety skirt double FOUP
CMP Measurement (CPM+ANRA)
Signal tower: (4) Lamps 40 mm
GEM/SECS and HSMS
E84 Enabled for OHT & AGV / RGV
(2) PIO Devices for OHT: 3 PIO
E87 (Based on E39)
E40/E94/E90
(3) Thermos single wire CID, G4
RDM Machine client SW & license
AA On-tool client CD & license
Operation manual on CD
2011 vintage.
KLA/TENCOR Archer AIM + est un équipement d'inspection de masques et de plaquettes conçu pour répondre aux exigences les plus difficiles de l'industrie des semi-conducteurs. Il fournit une précision et une répétabilité inégalées dans l'inspection des facteurs de forme photomasque et réticulaire même les plus difficiles. Grâce à ses technologies de pointe, telles que l'optique contrôlée par ordinateur, les algorithmes avancés de reconnaissance des motifs et une plate-forme logicielle entièrement intégrée, il peut détecter de manière fiable les défauts et les anomalies dans les matériaux métalliques et céramiques. Le système KLA Archer AIM + utilise une unité optique avancée pour capturer les détails critiques de tout masque ou plaquette. Sa machine optique comprend un large choix de lentilles, permettant une reconnaissance rapide et précise des défauts et anomalies présents sur la surface du substrat. L'outil est particulièrement capable de capturer des fonctionnalités plus petites, quelque chose que la plupart des systèmes concurrents sont incapables de faire. L'actif TENCOR Archer AIM + dispose également d'un modèle de manutention robotique avec chargement et déchargement automatique d'échantillons. Cela garantit la répétabilité du processus de chargement de l'échantillon et améliore le temps de cycle global. De plus, l'équipement peut mesurer avec précision le placement et l'alignement des superpositions, ce qui en fait un outil idéal pour évaluer l'intégrité mécanique du masque ou de la plaquette. Afin d'assurer une inspection précise, le système Archer AIM + combine son matériel de pointe avec des algorithmes sophistiqués de reconnaissance de motifs et de détection de défauts. L'unité peut reconnaître des motifs et des anomalies sur la surface du masque ou de la plaquette avec une résolution allant jusqu'à 0,1 μ m. Il peut détecter efficacement les particules, les fosses, les stries, les trous d'épingle et les fissures - à n'importe quel angle ou position. La machine offre également un certain nombre d'outils pour améliorer les capacités analytiques. Il s'agit notamment de la correction de distorsion d'image, de la classification automatique des défauts et d'un outil de règles basé sur des mesures souples. En outre, l'actif est intégré à une plate-forme logicielle appelée Archer Insight, qui permet aux utilisateurs de gérer facilement leurs données d'inspection. Le modèle KLA/TENCOR Archer AIM + est un choix idéal pour les fabricants de semi-conducteurs qui nécessitent une inspection fiable et très robuste des masques et des plaquettes. Ses technologies de pointe et ses procédures de manutention automatisées garantissent que les inspections critiques peuvent être effectuées de manière précise et répétée. En outre, Archer Insight fournit aux utilisateurs une plateforme intuitive pour gérer, analyser et rapporter les données d'inspection.
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