Occasion KLA / TENCOR Archer AIM+ #9186704 à vendre en France

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KLA / TENCOR Archer AIM+
Vendu
ID: 9186704
Overlay inspection system.
KLA/TENCOR Archer AIM + est un équipement de nouvelle génération d'inspection de masques et de plaquettes conçu pour fournir des outils de métrologie haute performance pour les technologies avancées de semi-conducteurs. Le système prend en charge les mesures multi-capteurs, utilisant une technologie d'imagerie avancée pour la détection rentable des défauts et la précision de placement du motif dans la gamme de niveaux nanométriques. Il dispose d'une capacité unique de reconnaissance de motifs qui fournit des solutions puissantes pour identifier rapidement et avec précision les caractéristiques de haut rapport d'aspect telles que les réseaux de portes. L'unité utilise la technologie d'imagerie haute résolution KLA pour garantir des images de contraste élevé avec des exigences précises d'alignement, d'inclinaison et de résolution. De plus, il permet une inspection simultanée de la topographie des plaquettes et de la métrologie globale, ce qui facilite la détection fiable des erreurs de marquage sur les caractéristiques à haut rapport d'aspect. La machine utilise des algorithmes programmables de détection de bord, de segmentation subpixel et de filtrage de forme pour la lumière visible et les images lumineuses éclairées par laser pour identifier avec précision les défauts, quelle que soit leur taille, ainsi que pour la précision de placement des motifs dans la gamme des nanomètres. L'outil fonctionne dans un environnement de salle blanche, fournissant un large éventail de paramètres environnementaux, y compris l'humidité et la température. Ses fonctions de refroidissement et de chauffage accélérés permettent un ajustement rapide des mesures pour se conformer aux dernières normes internationales. La combinaison du haut débit et de la précision de l'actif en fait un choix idéal pour les lignes de production. Il dispose d'une interface graphique conviviale, qui simplifie le fonctionnement et l'analyse des données. Comme le modèle est fourni avec une suite de types de calibration parfaitement adaptés, les utilisateurs n'ont pas à perdre de temps sur des tâches manuelles fastidieuses. En outre, il offre une capacité d'analyse en temps réel qui aide à identifier, classer et suivre tous les défauts. Pour garantir la précision et la répétabilité de chaque inspection, l'équipement utilise des algorithmes de focalisation automatique et la reconnaissance des outils. Le logiciel comprend une bibliothèque sophistiquée de fonctionnalités et de règles pour identifier avec précision les défauts et permettre une détection rapide des défauts. Dans l'ensemble, KLA Archer AIM + est un système avancé d'inspection des masques et des plaquettes de haute performance qui fournit une métrologie détaillée des modèles de semi-conducteurs les plus avancés. Ses résultats fiables ainsi que son interface conviviale, son fonctionnement rapide et flexible en font un choix idéal pour divers besoins de production.
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