Occasion KLA / TENCOR Archer AIM #9231862 à vendre en France
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Vendu
ID: 9231862
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2003
Overlay inspection system, 12"
With ASYST IsoPort 9700-9129-01 Rev K load port
Dual load ports EFEM
With ASYST IsoPort
Signal light tower
BROOKS AUTOMATİON Handler with pre-aligner and robot
Robot controller
Handler
I/O Interface board
Motion controller
Optic
Z-Stage
Pneumatic box (Air and vacuum module)
Computer
Keyboard and mouse
Operator console
Monitor
Floppy Disk Drive (FDD)
CD ROM Drive
Tape drive
Printer
EMO
Shelf
Floatation damaged
Missing parts:
SBC Controller
Floatation controller
Hard Disk Drive (HDD)
Power supply:
230 VAC, 11.3 A, 50/60 Hz, Single phase
208 VAC, 12.5 A, 50/60 Hz, 2 Phase
2003 vintage.
KLA/TENCOR Archer AIM est un système automatisé d'inspection de masques et de plaquettes qui capture les images haute résolution d'un substrat avec une résolution de pixels allant jusqu'à 7 μ m, puis les analyse pour détecter les défauts. Il est capable d'effectuer des inspections rapides et précises de substrats de wafer et de masque de grande valeur, tels que la mémoire flash, les LCD et les tailles de fonctionnalités avancées. Les images haute résolution sont analysées et évaluées par une suite de modules logiciels qui comparent les motifs pour identifier les défauts de fabrication et d'assemblage. Il comprend des outils tels que l'analyse de la défectivité sur plaquette, la mesure des dimensions critiques (CD) et la capacité d'essai électrique. Il offre également une analyse non destructive des défauts physiques, y compris la fissuration des films et l'analyse des contraintes thermiques. Le système peut créer des tâches d'inspection pour l'utilisateur, grâce à un logiciel frontal facile à utiliser pour la sélection et la manipulation des tâches spécifiques à l'application. Il dispose d'une interface utilisateur puissante et personnalisée pour exécuter des tâches d'inspection de masque et de plaquette pour optimiser le rendement. Le système se connecte avec une variété de robots pour manipuler des plaquettes ou masquer des ébauches de divers fournisseurs. La solution intégrée d'examen des défauts fournit un environnement d'examen sécurisé pour effectuer un travail d'analyse détaillé sur les images collectées par l'outil d'inspection. Il a une fidélité d'image de première classe permettant une comparaison rapide entre défaut et défaut d'une plaquette entière ou masque blanc. L'outil d'examen comprend également des outils sophistiqués de reconnaissance des modèles qui aident à trouver des grappes de défauts. Globalement, KLA Archer AIM offre une solution robuste et fiable pour l'inspection des masques et des plaquettes. Sa série sophistiquée de modules logiciels, combinée à sa capacité d'imagerie haute résolution, en font un choix idéal pour l'analyse des défauts physiques avancés, la mesure des CD et le test électrique. Sa solution intégrée de révision des défauts aide également les utilisateurs à repérer rapidement et avec précision les défauts de fabrication et d'assemblage.
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