Occasion KLA / TENCOR Archer AIM+ #9236390 à vendre en France

KLA / TENCOR Archer AIM+
ID: 9236390
Overlay inspection system.
KLA/TENCOR Archer AIM + est un équipement automatisé d'inspection des masques et plaquettes conçu pour la production de circuits intégrés avancés. Le système fournit aux laboratoires de fabs et de métrologie une rétroaction de performance critique pour des mesures à haute résolution de la composition, du motif et de la détection des défauts. L'unité est équipée d'une machine d'imagerie haute résolution 2K équipée d'un logiciel intégré, d'algorithmes avancés de détection des défauts et de capacités de contrôle des processus embarqués. L'imagerie haute résolution est capable de détecter, localiser et mesurer les défauts jusqu'au niveau du sous-micron. La suite logicielle intégrée comprend des mesures précises de caractéristiques modelées, de distorsion optique, d'épaisseur de couche mince, de résolution de ligne et de réflectivité de surface. L'outil KLA Archer AIM + est construit avec une technologie d'inspection tolérante en 3D qui lui permet de détecter les variations subtiles de la géométrie d'une structure. L'actif offre également des algorithmes avancés de détection de défauts capables de détecter et de classer une grande variété de défauts critiques tels que des particules, des marques d'outils, des ponts et des désalignements de superposition. Le modèle est équipé d'outils logiciels avancés qui permettent aux équipes de fabrication d'analyser, de modifier et de revoir les données en temps réel, ainsi que d'une fonctionnalité de contrôle des processus en ligne qui permet la mise en œuvre de mesures correctives qui peuvent réduire le taux de défaut. L'équipement est conçu avec une plate-forme centrée sur l'utilisateur robuste qui permet de personnaliser les préférences définies par l'utilisateur pour les processus d'inspection des plaquettes. Cela permet une analyse plus rapide et plus efficace en diminuant le temps nécessaire à la mise en place de l'outil pour chaque tâche de collecte de données. Le système est entièrement flexible et configurable, capable de s'adapter à différents types de structures, de recettes de processus et d'environnements d'inspection. Enfin, l'unité peut être facilement mise à niveau et améliorée afin de maximiser ses performances et de passer à un processus d'inspection plus automatisé et plus efficace. Les caractéristiques évolutives offrent une plate-forme pour l'évolutivité de la production et une meilleure surveillance des rendements. L'interface utilisateur facile à utiliser fournit un ensemble complet de mesures et permet aux utilisateurs d'ajuster rapidement les tolérances et de modifier les protocoles en cliquant sur un bouton.
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