Occasion KLA / TENCOR Archer AIM+ #9237846 à vendre en France
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Vendu
ID: 9237846
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2005
Overlay inspection system, 12"
(2) ASYST IsoPort SMIF Systems
(2) Load ports
Handler system: Modular wafer handler, 12"
HLS Lamp
YASKAWA Robot
Options:
CMP Option (Low contrast target measurement)
Multi-layer XY separation
RDM V3XX Tool client license
Archer analyzer on-tool client license
Archer analyzer Pro-5 license
Tool internal camera for surveillance
Automation:
GEM/SECS and RS232
HSMS
E84 Enablement for OHT & AGV/RGV
E87 Carrier management services (Based on E39)
E40 Process job management
E94 Control job management
E90 Substrate tracking
(2) Advantage radio frequency (RF) carrier ID readers
Light tower
EMO Shield
Network interface: HSMS, GEM/SECS
SEMI Wafer standard with notched orientation
Cassette type: 25 Wafer FIMS-ENTEGRIS Spectra 26 slots
FOUP 25 Slots
Factory interface items, material interface, LP:
(2) FOUPs
Dual FIMS ENTEGRIS
Top shelter for subfab components
Side panels
Chemical filters for FFU: Air inlet of fan force
Options:
CMP Option (Low contrast target measurement)
Multi-layer XY separation
RDM V3XX Tool client license
Archer analyzer on-tool client license
Archer analyzer Pro-5 license
Tool internal camera for surveillance
UPS
Manuals included
Power supply: 230 V, 50 Hz, 15 A, Single phase
2005 vintage.
KLA/TENCOR Archer AIM + est un équipement d'inspection de masques et de plaquettes conçu pour simplifier le processus d'identification, d'examen et de validation des données de défauts dans l'industrie des semi-conducteurs. Le système est une solution complète qui utilise des logiciels et du matériel puissants de l'UCK. Il utilise une combinaison de technologies d'inspection, y compris l'imagerie de wafer haute résolution, la reconnaissance automatisée des motifs et l'analyse 3D des défauts pour fournir des résultats rapides, précis et reproductibles. L'unité est composée d'une unité principale et d'un microscope. L'unité principale abrite le scanner laser, le gestionnaire de plaquettes, le projecteur optique, le processeur de traitement d'image et la machine de révision des défauts. Le microscope, qui est relié à l'unité principale, est un outil d'imagerie numérique haute résolution qui fournit des images détaillées des caractéristiques sur la surface de la plaquette à divers agrandissements. KLA Archer AIM + utilise une combinaison de logiciels de révision des défauts et de périphériques matériels pour détecter et analyser les défauts. Les défauts sont acquis et traités en temps réel, en utilisant l'imagerie haute résolution et les technologies d'analyse automatisée des défauts de pointe. Grâce à une combinaison d'algorithmes de reconnaissance de motifs et d'analyse 3D, l'actif identifie, compte et classe avec précision les types de défauts sur la plaquette. Le modèle comprend une interface utilisateur intuitive pour examiner et valider les défauts, ainsi que pour personnaliser le filtre de défaut et configurer la révision automatique des défauts. L'équipement comprend également une série d'outils prédéfinis d'analyse du rendement, des défauts et de la fiabilité pour analyser les résultats pour le rendement, les niveaux de défauts et d'autres paramètres clés. Ces outils fournissent des informations précieuses sur le processus de fabrication, pour aider à améliorer la qualité et le rendement des produits au fil du temps. Le système TENCOR Archer AIM + est un outil puissant pour améliorer la qualité globale des produits dans l'industrie des semi-conducteurs. Il fournit des résultats rapides, précis et reproductibles, et offre une série d'outils pour faciliter l'examen efficace des défauts et l'analyse du rendement. L'unité est une solution hautement automatisée et fiable pour l'inspection des masques et des plaquettes, et peut être facilement intégrée dans les processus et systèmes SEMIConductor existants.
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