Occasion KLA / TENCOR Archer AIM+ #9251129 à vendre en France

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ID: 9251129
Overlay inspection system.
KLA/TENCOR Archer AIM + est un équipement révolutionnaire d'inspection de masque et de plaquettes conçu pour fournir une imagerie de surface de haute précision et une inspection tridimensionnelle des photomasques, réticules et plaquettes semi-conductrices. Le système utilise un microscope électronique à balayage qui offre un meilleur contraste de rétrodiffusion, une excellente imagerie à faible kV, un contrôle dynamique de la focalisation et une résolution supérieure. KLA Archer AIM + est une unité automatisée qui fournit des temps d'inspection rapides à la foudre et un contrôle serré des processus - grâce à sa conception unique et à l'utilisation d'algorithmes avancés, la machine est capable de mesurer et d'analyser les défauts en mouvement rapide avec une précision constante. Grâce à une technologie avancée de mesure des défauts au niveau de l'automobile et du transistor, TENCOR Archer AIM + maintient automatiquement une précision d'alignement ± 1 µm, tant sur les systèmes optiques que sur les systèmes SEM, ce qui simplifie grandement le processus d'inspection. L'outil combine un détecteur d'énergie stocké automatisé de 100 kV pour identifier et mesurer avec précision les défauts électroniques (CED) en reconnaissant les signaux de diffusion et de rayons X uniques qu'ils génèrent. Sa fonction de cartographie rapide des plaquettes permet de surveiller en temps réel le rendement des plaquettes, de fournir aux ingénieurs des procédés une image complète de l'état des plaquettes et de leur permettre de répondre directement aux problèmes de rendement incohérents. Archer AIM + est un outil intégré et polyvalent d'inspection des masques et plaquettes adapté à une variété d'applications, allant de la fabrication de dispositifs semi-conducteurs frontaux aux dispositifs optiques haut de gamme. La puissante optique du modèle peut inspecter pratiquement n'importe quelle taille de fonctionnalités (même celles en dessous de la limite de diffraction) et le grand étage d'échantillon peut facilement accueillir de nombreux types d'échantillons. L'équipement offre également un balayage bidimensionnel de la couverture FEOL/BEOL, suffisant pour la détection des défauts au niveau de la matrice, et les capacités d'analyse sophistiquées basées sur les fonctionnalités du système permettent aux utilisateurs d'identifier avec précision un large éventail de types de défauts. Globalement, KLA/TENCOR Archer AIM + est une solution d'imagerie et d'inspection puissante, conviviale et polyvalente spécialement conçue pour répondre aux besoins des fabricants de semi-conducteurs, de réticules et de photomasques. L'automatisation intégrée et le scanner haute vitesse de l'unité facilitent la mise en place et le fonctionnement, tandis que l'interface utilisateur intuitive permet aux utilisateurs de tirer le meilleur parti de la machine. L'outil fournit également des informations détaillées sur la qualité des échantillons et est capable d'identifier et de mesurer rapidement les défauts sans ralentir le processus. Avec ses performances exceptionnelles, sa précision et son fonctionnement intuitif, KLA Archer AIM + est la solution idéale pour l'inspection des masques et des plaquettes.
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