Occasion KLA / TENCOR Archer XT+ #9221909 à vendre en France
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Vendu
ID: 9221909
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2007
Overlay measurement system, 12"
EFEM
2007 vintage.
KLA/TENCOR Archer XT + est un équipement entièrement intégré d'inspection des masques et des plaquettes pour les technologies avancées des nœuds de processus. KLA Archer XT + intègre la technologie avancée de microscopie électronique à balayage (SEM) et une technologie d'imagerie par contact à haute sensibilité dans un ensemble intégré. Il permet une visualisation multi-couches 3D haute résolution et des mesures avec une résolution 10x ou plus. Le système TENCOR Archer XT + est doté d'une unité d'alignement haute performance à base de microscopie optique qui permet d'obtenir une précision de mesure au niveau du nanomètre. La machine d'alignement est conçue pour réduire le temps d'inspection, améliorer la précision des données et augmenter le rendement des processus complexes tels que le dépôt de cuivre par EUV, par double ou triple couplage. L'outil dispose également d'un atout d'imagerie multicouche qui permet une visualisation 3D haute résolution. Le modèle d'imagerie multicouche utilise une combinaison de SEM et d'analyse élémentaire pour générer des images 3D haute résolution des couches structurées. L'équipement Archer XT + intègre également une technologie d'imagerie de contact à haute sensibilité pour la détection des défauts et la reconnaissance des motifs. Cette technologie permet de détecter et de caractériser des défauts très sensibles, même dans de très petites structures denses. Il permet également une analyse des défauts au niveau des fonctionnalités et une classification complète des défauts. En outre, le système KLA/TENCOR Archer XT + fournit des outils avancés de classification des défauts et d'analyse des données. Ces outils permettent à l'utilisateur d'analyser rapidement les données de défaut, de classer les défauts et d'identifier les causes profondes. L'unité s'intègre également à un certain nombre de puces d'automatisation tierces pour améliorer le débit. KLA Archer XT + fournit une solution complète pour l'inspection des masques et des plaquettes. Ses outils avancés de microscopie électronique à balayage, d'imagerie haute résolution, de détection de défauts et d'analyse de données offrent une solution puissante et performante pour les nœuds de processus avancés. Il est bien adapté à la fois pour les fonderies et les clients sans marque cherchant à améliorer le rendement et à réduire les coûts.
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