Occasion KLA / TENCOR Archer XT+ #9231431 à vendre en France
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Vendu
ID: 9231431
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2007
Overlay measurement system, 12"
2007 vintage.
KLA/TENCOR Archer XT + masque et équipement d'inspection des plaquettes est un système complet de contrôle web pour l'inspection des modèles complexes de masques et de plaquettes. L'unité utilise une variété de technologies de pointe pour détecter et corriger les défauts complexes au niveau du nanomètre, assurant le plus haut niveau de précision et de rendement du processus. La machine XT + comprend une technologie avancée de détection et de classification des défauts (DD&C) qui combine une variété de techniques optiques et de techniques sophistiquées de traitement d'image pour détecter et localiser les défauts de sous-microns dans les motifs de masque et de plaquettes. DD&C utilise des algorithmes qui analysent diverses options, notamment les images aériennes, la scatterométrie, les images photomasques, les séquences de focus, le contraste de phase actif, la scatterométrie faible et l'imagerie en champ sombre. L'outil peut détecter les petites tailles de fonctionnalités, ainsi que d'identifier les défauts critiques tels que les défauts structurels, les défauts de photomasque, et les charges piégées. L'actif XT + est également équipé d'une plate-forme de litho-métrologie qui permet l'inspection sous-micron des caractéristiques dimensionnelles long et court pas. Cela permet une réduction critique de la densité des défauts, ce qui améliore le contrôle des procédés et la productivité. Le XT + inclut la métrologie film-contrainte, permettant aux utilisateurs de mesurer la linéarité des caractéristiques, permettant une modélisation plus précise des processus et une meilleure approvisionnement en matériaux de haute qualité. Le modèle est également équipé de métrologie de dimension critique (CD) automatisée, qui fournit une mesure précise des variations de processus sur l'ensemble de la plaquette. L'équipement XT + est capable d'automatiser le traçage et la localisation des défauts, grâce à des techniques avancées de reconnaissance des motifs. Il est également équipé d'un système intelligent d'enregistrement des défauts à grande vitesse pour la classification et la vérification rapides des défauts. Le XT + offre également plusieurs fonctionnalités de sécurité de contrôle Web, y compris une minuterie d'écran, le contrôle d'accès et le chiffrement des données. KLA Archer XT + masque et unité d'inspection des plaquettes est une machine complète pour l'inspection des modèles complexes de masques et de plaquettes. Sa combinaison de technologies DD&C avancées, plate-forme de litho-métrologie, métrologie film-contrainte et métrologie CD automatisée fournit le plus haut niveau de précision et de rendement. Le repérage automatisé des défauts, l'emplacement des défauts et l'enregistrement intelligent des défauts assurent une classification et une vérification rapides des défauts. En outre, l'outil XT + est livré avec plusieurs fonctionnalités de sécurité de contrôle Web pour une sécurité accrue. TENCOR Archer XT + est donc un excellent choix pour l'inspection de plaquettes et de masques complexes.
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