Occasion KLA / TENCOR Archer XT+ #9256573 à vendre en France
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KLA/TENCOR Archer XT + est un équipement d'inspection de masques et de plaquettes conçu pour les applications de contrôle de processus les plus exigeantes dans l'industrie des semi-conducteurs. Le système utilise des techniques de métrologie automatisée avancées et des logiciels avancés pour fournir des mesures rapides et localisées des wafers de production et de recherche. L'unité KLA Archer XT + utilise une machine d'imagerie à double faisceau unique pour fournir des images haute résolution des caractéristiques des semi-conducteurs, y compris les couches de grille, les motifs en silicium polycristallin et les lignes de diffusion. L'outil offre une capacité de métrologie automatisée à de multiples niveaux de résolution, des aperçus visuels à la caractérisation des caractéristiques à l'échelle nanométrique. Cela permet de déterminer avec précision les paramètres de la fonction, y compris la largeur de ligne, l'alignement de recouvrement, les dimensions critiques (CD) et les variations de processus. Grâce à l'utilisation facultative de l'actif d'imagerie électronique secondaire intégrée (SEI), les utilisateurs de TENCOR Archer XT + peuvent également examiner les propriétés de surface des plaquettes. Le modèle Archer XT + offre également une capacité d'imagerie en ligne, avec des systèmes optionnels de corrélation d'image numérique (DIC) et d'imagerie sans masque. Cela permet à l'équipement d'analyser rapidement les motifs des masques et de générer des images détaillées pour les inspections des défauts. Avec l'ajout d'un système de jeu, KLA/TENCOR Archer XT + peut être configuré pour la cartographie et la caractérisation de motifs tridimensionnels (3D). L'unité est également équipée d'applications logicielles avancées pour l'analyse des données, la détection des défauts et le contrôle des processus. Les outils de productivité intégrés permettent aux utilisateurs de générer des rapports complets sur les catégories de défauts, la variance des photomasques et d'autres paramètres clés pour le contrôle des processus. Ces applications, combinées avec les capacités de métrologie haute résolution de KLA Archer XT +, offrent aux utilisateurs une grande précision, des délais d'exécution rapides et un meilleur contrôle des processus.
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