Occasion KLA / TENCOR Archer XT+ #9272511 à vendre en France
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ID: 9272511
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2010
Overlay measurement system, 12"
(2) Load ports
Power supply: 208 V, ±10%, 3 Phase
2010 vintage.
KLA/TENCOR Archer XT + est un équipement avancé d'inspection des masques et des plaquettes qui permet à la fois des scans 2D et 3D très haute résolution d'inspection de défis tels que des motifs denses, des trous de contact à haut rapport d'aspect, des caractéristiques de contraste faible, des dérivés, etc. Le système assure une durée de cycle plus rapide, des taux de détection de défauts plus élevés, une meilleure précision de classification des défauts et des résultats améliorés avec des corrections basées sur l'expérience. Alimenté par une technologie avancée d'imagerie computationnelle (CI), KLA Archer XT + offre aux fabricants de semi-conducteurs un regard particulier sur les modèles complexes pour pouvoir identifier les défauts rapidement et avec précision. Il dispose d'une source de faisceau d'électrons d'émission de champ qui balaye et inspecte les plaquettes et les masques avec une portée allant jusqu'à 25000X en un seul balayage. L'unité est assistée par une machine électromagnétique automatisée de pointe pour améliorer la précision, la répétabilité et la traçabilité. De plus, il existe une gamme de capacités d'inspection pour les masques et les réticules à haute résolution, comme l'inspection par recouvrement, l'inspection par intérêt de contraste (IC) et les capacités de conception pour l'inspection (DFI) qui sont conçues pour détecter chaque défaut de micro-niveau dans le modèle. En outre, TENCOR Archer XT + est chargé avec d'autres fonctionnalités telles que : Fonctions opérationnelles automatisées qui assurent des opérations efficaces. Capacités avancées d'identification des défauts qui sont adaptées aux exigences des structures les plus difficiles. Classifications complètes des défauts qui fournissent les détails nécessaires concernant les types de défauts constatés. Un puissant logiciel d'acquisition de données d'image (IDA) qui guide et vérifie les résultats du processus d'inspection. Fonctionnalités évolutives et logiciels qui aident les utilisateurs à suivre les technologies les plus récentes. Toutes ces fonctionnalités permettent aux utilisateurs de maximiser le débit en repérant les problèmes potentiels de conception tôt, de prioriser précisément les défauts et de maintenir le rendement avec une gamme d'effets 3D post-scan. Ils font d'Archer XT + un outil fiable et complet pour fabriquer des masques de précision, des plaquettes et des dispositifs.
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