Occasion KLA / TENCOR Archer #9199198 à vendre en France

KLA/TENCOR Archer est un équipement automatisé, à fort grossissement, de masque et d'inspection de plaquettes qui est conçu pour les procédés de fabrication de semi-conducteurs. Il utilise une technologie de pointe d'optique et de traitement d'image pour détecter et caractériser les défauts sur les substrats de masque et de plaquette traités. Ce système inspecte avec précision les plaquettes et les masques à semi-conducteurs pour détecter toute une gamme de types de défauts tels que le tracé des lignes et des points, les contraintes, les débris, les interfaces non uniformément remplies et les structures non uniformément développées. Il peut également mesurer les propriétés électriques de structures de motifs fixes. L'unité se compose de deux composants : une machine d'imagerie et un module de tête d'inspection. L'outil d'imagerie comprend un CCD de grande surface (Charge-Coupled Device) pour capturer les images de défaut. En outre, un microscope haute résolution fournit une image optique pour la localisation et l'identification précises des défauts. Un atout d'éclairage réglable permet au modèle de créer des masques de nouvelle génération qui ont des tolérances plus serrées et des motifs plus complexes. Le module de tête d'inspection comprend un sous-système spécial de mesure des défauts, qui utilise des algorithmes automatisés pour calculer les caractéristiques des défauts. Le module est intégré à un sous-système d'alignement précis qui permet de s'assurer que les caractéristiques de ligne et de motif sur la plaquette et le masque peuvent être comparées et correctement alignées. L'équipement KLA Archer est conçu pour une fiabilité et une répétabilité supérieures, permettant une inspection et une mesure rapides et précises. Il est conçu avec des solutions d'automatisation flexibles qui réduiront le coût et augmenteront le débit des processus d'inspection des semi-conducteurs. Les capacités du système fournissent une solution de haute qualité pour aider les fabricants de semi-conducteurs à détecter et à isoler les défauts critiques rapidement et avec précision. Cela permet d'obtenir des rendements supérieurs et une meilleure qualité pour les appareils fabriqués avec des procédés et des matériaux améliorés.