Occasion KLA / TENCOR ATL-100 #293651145 à vendre en France
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KLA/TENCOR ATL-100 est un équipement d'inspection de masques et de plaquettes conçu pour détecter rapidement et avec précision les défauts qui pourraient affecter les performances d'un dispositif semi-conducteur. Ce système utilise une technologie avancée d'imagerie à double vue pour produire des images haute résolution de surfaces de masque et de plaquettes. L'unité d'inspection de KLA ATL-100 est une machine complètement intégrée, automatisée qui inclut la plate-forme d'inspection de TENCOR ATL-100, le Détecteur de Scanning Spot Microscope (SSM) et pcom™ le logiciel de révision de défaut automatisé. ATL-100 offre des capacités supérieures de détection, de classification et d'examen des défauts en combinant des algorithmes optiques et AE de vision de mouvement sous-onde avec une expertise de classification des défauts reconnue par l'UCK. La plateforme d'inspection KLA/TENCOR ATL-100 peut inspecter une variété de masques tels que le B-Si, les filaments de silicium polycristallin et de FIB et une variété de technologies de plaquettes, y compris la lithographie, la pulvérisation et la CMP. En combinant une technologie optique de pointe et des capteurs d'imagerie haute résolution, KLA ATL-100 fournit une détection de défaut en plein champ, basée sur le bruit du grain, qui couvre un large éventail de caractéristiques de défaut. Le capteur SSM (Scanning Spot Microscope) est une solution d'inspection optique intégrée qui utilise la résolution des sous-longueurs d'onde pour détecter les défauts sur les photomasques, les plaquettes et les cibles de placement. Le capteur SSM utilise un champ de vision qui peut traverser à 1.5KHz, ainsi qu'une source lumineuse qui dispose d'un laser impulsionnel haute vitesse et haute puissance. Les images de défaut de captures de détecteur SSM qui peuvent être vues et ont analysé l'utilisation pcom™ le logiciel de révision de défaut automatisé. Le logiciel de révision de défaut automatisé du pcom™ est un outil de révision de défaut complètement automatisé qui se compose d'une direction de défaut en temps réel, une classification de défaut et une solution de post-traitement. Ce logiciel de révision des défauts utilise des algorithmes d'auto-apprentissage uniques pour détecter, classer et signaler l'état des défauts de manière fiable et précise, en fournissant aux utilisateurs une image complète des défauts et des capacités de détection des défauts de sous-onde en plein champ. De plus, les capacités de révision automatisées de l'actif pcom™ renforce la qualité d'inspection et l'efficacité de prix. Avec son modèle intégré de technologies optiques et d'imagerie avancées, son logiciel sophistiqué de révision des défauts et son interface utilisateur intuitive, le masque TENCOR ATL-100 et son équipement d'inspection des plaquettes est une solution de pointe. Ce système offre les rendements et la précision les plus élevés tout en minimisant le coût total de la propriété en tirant parti de la plus grande précision d'inspection, des capacités d'examen automatisé des défauts et du débit extensif.
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