Occasion KLA / TENCOR Candela CS20 #9214843 à vendre en France

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ID: 9214843
Taille de la plaquette: 2"-8"
Surface measurement system, 2"-8" Thickness: 350 μm – 1100 μm Materials: Any opaque Polished surface Scatters: ≥ 10% of incident light Defect sensitivity Size: 0.08 μm Diameter PSL Sphere equivalent capture rate: ≥ 95% Depth of focus Maximum allowable under bow: +/- 15 μm Edge exclusion: Imaging: No exclusion Defect analysis: User configurable, varies with wafer size Nominal: 2"-8" R-θ Co-ordinates: Co-ordinate precision: 80th Percentile ≤ 150 μm Co-ordinate accuracy: 80th Percentile ≤ 150 μm Spatial resolution Spacing: ≥ 10 μm Minimum wafer outer edge: 8" Cassette handling Standard: Single puck up to 200 mm Illumination source Laser: 50 mW Wavelength: 405 nm Operator interface Trackball and keyboard standard Options: Dual cassette handling GEM-SECS Light tower Diamond scribe Calibration standards Air: CDA 95-110 PSI, 2 CFM Power supply: 110 – 120 VAC, 8A, 50/60 Hz 100 VAC, 10A, 50/60 Hz 220 VAC, 5A, 50/60 Hz.
KLA/TENCOR Candela CS20 est un équipement avancé d'inspection des masques et des plaquettes conçu pour détecter les particules de sous-microns, les défauts et la contamination sur les plaquettes et les masques utilisés dans l'industrie des semi-conducteurs. La conception du CS20 est basée sur un microscope électronique à balayage (SEM), utilisant une chambre à pression variable qui permet l'inspection de matériaux opaques avec un grand champ de vision. Grâce à son contrôle optique numérique, à son système à double faisceau et à son contrôle avancé du courant du faisceau, il peut détecter des variations des bords de motifs jusqu'à un niveau inférieur au micron. L'unité est également conçue pour fonctionner avec sa propre suite de logiciels spécialisés. KLA CANDELA CS-20 est capable de numériser rapidement et à haute résolution avec ses conceptions exclusives et ses technologies d'imagerie avancées. Il permet à l'utilisateur de détecter des défauts et des contaminations infimes, difficiles à repérer, que les systèmes d'inspection traditionnels ne sont souvent pas en mesure de détecter. La machine est capable d'identifier même les plus petites caractéristiques sur un masque ou une plaquette, telles que les rayures, les fosses, les défauts, les désalignements de motifs, et intra-die-particules. Le CS20 est également conçu pour augmenter la productivité, avec des fonctionnalités telles qu'un contrôle automatique de l'axe Z, un traitement d'image programmable et des algorithmes d'auto-apprentissage qui lui permettent de reconnaître et de surveiller automatiquement les défauts. En outre, le CS20 est compatible avec les systèmes actuels de microscope à plaquettes d'essai de l'industrie, ce qui facilite encore l'intégration dans les processus d'inspection existants. L'outil est livré avec un certain nombre de caractéristiques de sécurité, comme un actif d'exploitation sans panne et un modèle de surveillance intégré pour s'assurer que l'équipement fonctionne en toute sécurité en tout temps. De plus, il existe un service et un support personnalisés KLA qui peuvent vous aider tout au long de la configuration et du fonctionnement du système. Dans l'ensemble, TENCOR CANDELA CS 20 offre une unité d'inspection avancée, rapide et fiable capable de détecter rapidement les particules, les défauts et les matières contaminées provenant des plaquettes et des masques, tout en étant très productive, fiable et sûre à utiliser.
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