Occasion KLA / TENCOR Candela CS20 #9389552 à vendre en France
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Vendu
ID: 9389552
Style Vintage: 2012
Surface measurement system, 2"- 8"
Thickness: 350 µm to 1,350 µm
Defect sensitivity: 0.08 µm Diameter
PSL Sphere equivalent: ≥ 95% Capture rate
Surface topography: >2Å Ra sensitivity
Parameters: Ra, Rq, Wa, Wq
Film thickness uniformity (Single layer): 5Å <Thermal oxide < 1000Å
Depth of focus: Maximum ±15 µm under bow
Repeatability: CV ≤ 5.0 %
Edge exclusion:
Imaging (No exclusion)
Defect analysis, varies with wafer size (Nominal: 2"= 1.5mm, 8"= 5mm)
Defect types:
Particles
Scratches
Stains
Pits
Bumps
Scratches: 100 µm long, 0.1 μm wide, 50Å deep
Pits: 20 µm Diameter, 50Å deep
Stains: 20 µm Diameter, 10Å thick
Illumination source:
50 mW Laser
405 nm Wavelength
R-Θ Coordinates
Coordinate precision: 80th percentile ≤150 µm
Coordinate accuracy: 80th percentile ≤150 µm
Spatial resolution: Minimum ≥ 10m spacing at outer edge of 8"
Single channel particle measurements
Robotic wafer handler, 2"- 8"
Operator interface: Trackball and keyboard
LCD Monitor, 19"
2012 vintage.
KLA/TENCOR Candela CS20 est un équipement automatisé avancé d'inspection des masques et plaquettes conçu pour fournir une résolution et une répétabilité révolutionnaires aux fabricants de semi-conducteurs. Le système utilise une LED de lumière bleue et une optique d'imagerie exclusive pour obtenir une clarté inégalée lors de l'inspection des plaquettes et des masques jusqu'à une résolution de 5 nanomètres. KLA CANDELA CS-20 est équipée de plusieurs fonctionnalités avancées, telles que des étages intégrés de balayage d'air, l'éclairage quadratique du faisceau pulsé, et la classification automatisée des défauts, qui produisent ensemble des images de contraste élevé pour l'inspection la plus complète et précise possible. L'unité optique fournit des données d'image de surface et de coupe transversale qui sont utilisées pour détecter les défauts de surface tels que les particules, la contamination et les trous de pincement. Une machine de classification automatisée des défauts en ligne permet également d'identifier différents types de défauts et de les catégoriser en fonction de leur gravité. Cela permet non seulement de réduire les erreurs des praticiens, mais aussi de maintenir un niveau élevé de cohérence entre les résultats des inspections. TENCOR CANDELA CS 20 utilise également des algorithmes avancés d'appariement de motifs pour identifier les défauts potentiels, ainsi qu'une analyse automatisée des grappes de défauts pour identifier les défauts répétables sur les plaquettes multi-filières. Les résultats sont présentés dans un format graphique, facile à naviguer, et il est possible de déplacer l'image dans les axes x et y pour cibler les zones problématiques. L'outil permet également de cibler et d'isoler les images des perspectives latérales, aériennes et transversales. En outre, les données collectées auprès de l'actif offrent aux utilisateurs la possibilité de vérifier l'exactitude des étapes du processus telles que le dépôt et le stockage. Les données peuvent être stockées et stockées dans une bibliothèque centralisée pour la recherche, ce qui les rend idéales pour l'analyse à long terme des défauts et le suivi des processus. La bibliothèque peut également être utilisée pour comparer les images capturées avec les résultats souhaités pour l'appariement des motifs. CANDELA CS-20 est un modèle révolutionnaire pour l'inspection des plaquettes et des masques qui fournit les résultats les plus fiables et les plus reproductibles. En combinant l'optique exclusive avec des étages pneumatiques intégrés, l'éclairage pulsé et la classification automatisée des défauts, l'équipement assure que les utilisateurs restent quelques pas en avance sur les inspections de masque et de plaquettes métalliques les plus exigeantes d'aujourd'hui.
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