Occasion KLA / TENCOR Candela CS20R #293609511 à vendre en France
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KLA/TENCOR Candela CS20R est un système d'inspection des masques et des plaquettes qui fonctionne dans un environnement sous vide et qui est utilisé pour la caractérisation automatisée et l'analyse des défauts des plaquettes et des masques. Le CS20R dispose d'un étage de 300mm qui permet l'alignement d'échantillons de haute précision, la fixation et la mesure des images de dessus et de coupe transversale. Ses filtres intégrés améliorent la fidélité à l'imagerie et permettent l'imagerie latérale sur une large gamme de longueurs d'onde. Le CS20R utilise à la fois des techniques d'imagerie de champ lumineux et de champ noir pour capturer la réflectivité omnidirectionnelle totale de la surface du masque ou de la plaquette. Les données sont acquises par spectroscopie de corrélation de fluorescence (FCS) pour détecter tout défaut potentiel, comme les rayures et les motifs gravés, sur le masque ou la plaquette. Le moteur multifaisceaux du système acquiert des données à partir des images de haut et de bas. Il a été optimisé pour le contraste, la tonalité et la reconnaissance des motifs sur un large champ de vision. Le CS20R est également équipé de logiciels avancés d'acquisition et d'analyse de données. Il est capable d'analyser de grandes quantités de données en peu de temps, avec une intervention minimale de l'utilisateur. Les statistiques générées par l'analyse peuvent ensuite être utilisées pour prendre des décisions et fournir des commentaires sur les résultats. Le CS20R est conçu pour être logé dans une enceinte hermétiquement fermée. Cela aide à améliorer le contrôle environnemental et à minimiser l'interférence de la poussière, de la saleté et d'autres éléments qui peuvent affecter l'exactitude des données recueillies. Le CS20R a été conçu pour être à la fois fiable et efficace. Il peut rapidement détecter les défauts ou irrégularités sur les masques et les plaquettes, et fournit aux utilisateurs les données nécessaires pour prendre des décisions précises. Avec sa technologie d'imagerie avancée et ses capacités logicielles, KLA CANDELA CS 20R est un système fiable et économique d'inspection des masques et plaquettes.
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