Occasion KLA / TENCOR Candela CS20R #9148287 à vendre en France
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ID: 9148287
Taille de la plaquette: 2"-8"
Surface measurement system, 2"-8"
Stains: 20um Dia, 10Å Thickness
Parameters: Ra, Rq, Wa, Wq
Film thickness uniformity: 5Å <Thermal oxide <1000Å
Repeatability: CV ≤ 5.0%
Illumination sources:
50 mW Laser
405 nm Wavelength
Operator interface:
Trackball
Keyboard
Power: 220 V, 60 Hz, 1 kW
Air pressure: 95~110 PSI
Air flow rate : 2 CFM 1/4" OD, 3/16” ID
Includes: Polyurethane tube.
KLA/TENCOR Candela CS20R est un équipement d'inspection des masques et des plaquettes conçu pour détecter de manière fiable les défauts des photomasques et des plaquettes monocouches et multicouches. La technologie d'imagerie 3D unique du système est dotée d'une optique ultra pointue et d'une résolution allant jusqu'à 45 µm, permettant une détection très précise des plus petits défauts. Au cœur du CS20R se trouve un capteur d'inspection CCD breveté de 5 mégapixels. Ce capteur est doté d'une unité de lumière double, combinant l'éclairage visible et infrarouge, permettant un meilleur contraste et une meilleure détection des défauts. La machine dispose également d'un grand champ de vision qui est plus de 45 fois plus grand que les systèmes classiques, permettant une inspection de grande surface sans avoir à scanner plusieurs fois. Le CS20R dispose également d'une interface logicielle conviviale qui rend le fonctionnement de l'outil simple et intuitif. Il dispose d'une suite complète d'outils de reconnaissance et d'analyse de motifs, qui permettent aux utilisateurs de scanner rapidement et avec précision les spécimens monocouche et multicouche. Le CS20R s'intègre également à plusieurs noyaux logiciels pour des tâches spécifiques, telles que la classification, la validation et la révision des défauts. En plus de ses caractéristiques technologiquement avancées, le CS20R est construit sur une plate-forme puissante et fiable, permettant un fonctionnement et une maintenance exceptionnellement fiables dans des environnements de production occupés. Il a été conçu pour un fonctionnement continu, ce qui signifie pratiquement pas de temps d'arrêt, et l'actif est évolutif avec une gamme d'options matérielles et logicielles. Dans l'ensemble, KLA CANDELA CS 20R est un modèle incroyablement puissant et fiable pour l'inspection des masques et des plaquettes. La technologie d'imagerie 3D unique de l'équipement, avec son système dual-light, permet de détecter même les plus petits défauts. L'unité est également construite sur une plate-forme robuste, permettant un fonctionnement fiable dans des environnements de production occupés, et est livrée avec une gamme d'outils automatisés de reconnaissance et d'analyse de motifs qui rendent le fonctionnement de la machine simple et intuitif.
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