Occasion KLA / TENCOR Candela CS20V #9293251 à vendre en France
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KLA/TENCOR Candela CS20V est un équipement d'inspection des masques et des plaquettes conçu pour répondre aux exigences exigeantes de l'inspection des masques et des plaquettes dans la fabrication des semi-conducteurs. Le système atteint un niveau de précision et de répétabilité sans précédent avec des algorithmes avancés d'acquisition et de traitement d'images. KLA CANDELA CS 20 V utilise la technologie d'imagerie haute résolution pour des caractéristiques de masque d'imagerie aussi petites que 0,5 μ m. Il combine ultraviolet profond (DUV) et imagerie de la lumière visible, ce qui permet à l'unité de détecter à la fois les caractéristiques non gravées et surgravées. L'optique d'imagerie est optimisée pour une résolution maximale et des niveaux de bruit bas, avec une plage dynamique allant jusqu'à 1000:1. La machine utilise des algorithmes avancés de détection des défauts pour identifier avec précision les défauts sur les masques et les plaquettes. Les défauts peuvent être détectés aussi petits que 0,2 μ m et peuvent être classés selon le type et la taille. Il permet à la fois de réduire les fausses alarmes et d'améliorer le débit en combinant la priorisation des défauts, l'automatisation du balayage des étages et les techniques d'amélioration des images. En plus de la détection des défauts, TENCOR CANDELA CS 20-V offre également une large gamme de capacités de caractérisation des processus. Il fournit des capacités complètes d'analyse topographique de la plaquette, permettant de mesurer le profil du dispositif, l'épaisseur du film, la hauteur des marches et la profondeur de gravure. Les mesures avancées de dimension critique (CD) sont également prises en charge, avec l'outil capable de mesurer et d'analyser les caractéristiques arrondies, latérales à 45 ° et surgravées. CANDELA CS-20 V est conçu pour la facilité d'utilisation et la robustesse. Il est logé dans un boîtier en acier inoxydable et dispose d'une interface utilisateur intuitive avec des menus personnalisables, un accès facile aux paramètres des actifs et un écran tactile. Le modèle est capable de composants évolutifs sur le terrain, ce qui permet une reconfiguration facile de l'équipement et fournit un haut niveau de modularité. KLA/TENCOR CANDELA CS 20 V est un système avancé et puissant d'inspection des masques et des plaquettes conçu pour être utilisé dans les applications les plus exigeantes de fabrication de semi-conducteurs. Sa combinaison de technologie d'imagerie haute résolution, d'algorithmes avancés de détection des défauts et de capacités de caractérisation des processus permet à l'unité de fournir des résultats très précis avec un débit et une répétabilité élevés.
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