Occasion KLA / TENCOR CRS 1010 #51182 à vendre en France
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KLA/TENCOR CRS 1010 est un équipement d'inspection de masques et de plaquettes utilisé dans la fabrication de semi-conducteurs pour identifier les erreurs de métrologie potentielles et les défauts optiques dans les substrats de photomasques et de plaquettes. Le système utilise une unité d'imagerie à haute résolution avec une optique avancée et des capacités de traitement numérique haute définition pour examiner chaque masque/plaquette pour détecter les défauts. KLA CRS 1010 est capable d'inspecter jusqu'à vingt-quatre plaques ou plaquettes de masque simultanément, fournissant un débit plus rapide et des rendements de débit plus élevés avec une grande précision et répétabilité. L'outil d'imagerie de la machine se compose de deux détecteurs, un détecteur de champ lumineux et un détecteur de champ noir. Le détecteur de champ lumineux est conçu pour identifier les défauts de particules, tandis que le détecteur de champ sombre est utilisé pour détecter les défauts optiques. L'actif d'imagerie fonctionne à divers agrandissements, permettant aux utilisateurs d'inspecter les fonctionnalités jusqu'à 0,2 µm et moins. La classification automatisée des défauts du modèle reconnaît et classe les particules, les nanostructures et les dislocations, avec une auto-focalisation des défauts et une mesure précise de chaque défaut. TENCOR CRS 1010 est équipé de diverses fonctionnalités avancées pour améliorer la capacité d'inspection et conduire un meilleur contrôle des processus. Il dispose de sélections de filtres avancées, permettant une identification précise des défauts. Les utilisateurs peuvent personnaliser les paramètres du filtre par application et spécifier leurs propres paramètres de couleur pour une identification précise des défauts. Le logiciel permet également aux utilisateurs de définir leurs propres seuils et de personnaliser le tri des défauts. De plus, l'équipement comprend l'inspection par lots, permettant aux utilisateurs d'inspecter simultanément plusieurs substrats. Le système CRS 1010 est conçu pour la fiabilité et la facilité d'utilisation. Il utilise une manipulation robotique sécurisée et en boucle fermée de la charge de travail et du centrage du substrat, assurant un positionnement précis du masque/plaquette et réduisant les risques de dommages de l'échantillon. En outre, l'unité contient une étape d'air pour le transport des échantillons, fournissant un environnement propre et exempt de poussière pour l'inspection. Grâce à son interface utilisateur intuitive, les utilisateurs peuvent programmer rapidement et facilement la machine, permettant une configuration, une exécution et une analyse rapides et précises. En conclusion, KLA/TENCOR CRS 1010 est un outil d'inspection avancé conçu pour l'inspection précise et précise des masques et des plaquettes. Ses capacités d'imagerie haute résolution et de classification automatisée des défauts permettent aux utilisateurs d'identifier rapidement et facilement les défauts sur les surfaces du masque et du substrat. Son interface utilisateur intuitive, son débit rapide et ses performances fiables en font un outil idéal d'inspection masque/plaquette, assurant des rendements plus élevés et un meilleur contrôle des processus.
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