Occasion KLA / TENCOR CRS 1010 #9382222 à vendre en France
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ID: 9382222
Style Vintage: 1997
Confocal review station
Power supply: 208 V, 50/60 Hz, Single phase, 20 Amps
1997 vintage.
Le masque KLA/TENCOR CRS 1010 et l'équipement d'inspection des plaquettes est une plate-forme d'inspection optique automatisée la mieux adaptée aux procédés de fabrication des semi-conducteurs. Le système est basé sur la technologie avancée d'imagerie confocale avec un laser, permettant une imagerie rapide et très précise de petites structures sur le masque et les substrats de plaquettes. Le KLA CRS 1010 est équipé d'une caméra CMOS de deux mégapixels et d'un laser de grande puissance qui sont tous deux utilisés pour capturer et inspecter des images à très haut grossissement. Le laser est calibré pour générer une quantité optimale de lumière tout en se concentrant sur une résolution prédéterminée. Le laser est suivi et surveillé individuellement par l'unité pour s'assurer qu'il fonctionne correctement et ne dépasse pas les normes de sécurité. TENCOR CRS 1010 est capable d'effectuer l'inspection des défauts, la détection des contaminants et l'analyse des particules sur une seule plaquette. La machine est équipée d'algorithmes de reconnaissance et de classification des motifs qui peuvent être utilisés pour identifier et classer rapidement et avec précision les défauts. L'outil dispose également d'un logiciel intégré qui peut être utilisé pour ajuster les paramètres et les seuils d'inspection pour une véritable classification positive/négative et l'analyse des données pendant le processus d'inspection du masque/wafer. CRS 1010 comprend également ses propres solutions de stockage de données et de communication, ce qui le rend capable de servir de plaque tournante pour l'ensemble du processus d'inspection des masques/plaquettes. Il est capable de s'intégrer de manière transparente dans les opérations et les infrastructures existantes, ainsi que d'avoir sa propre bibliothèque logicielle d'algorithmes et d'appareils d'inspection. KLA/TENCOR CRS 1010 a une interface utilisateur intuitive, ce qui le rend facile à programmer et à utiliser. Il est également conçu pour être adaptable à de nombreux environnements d'exploitation différents, et dispose également d'un ensemble complet de métrologie. Ceci améliore sa flexibilité et sa convivialité globale, ce qui permet de l'adapter rapidement à de multiples applications. Enfin, le KLA CRS 1010 a un taux de faux appels incroyablement bas et contribue grandement à améliorer les rendements de production. En éliminant les erreurs humaines potentielles, l'actif fournit une plus grande uniformité dans les opérations et les défauts jusqu'aux niveaux Angstrom peuvent être détectés et corrigés. En conséquence, TENCOR CRS 1010 est un outil puissant et fiable pour les processus d'inspection des masques et des plaquettes.
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