Occasion KLA / TENCOR CRS 3000 #9137166 à vendre en France
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ID: 9137166
Style Vintage: 2001
Wafer inspection tool
Part no: 300DFF1P
PRI robot part no: ABM-407B-1-S-CE-S293
KLA Part no: 0011623-00
PRI Controller part no: TRA035-LPS
KLA Part no: 0000666-000
PRI Prealigner part no: PRE-300BU
KLA Part no: 0011623-000
Loadport part no: 9700-6240-01, Rev. A, (Qty. 2)
Brooks controller part no: ESC-218BT-FWS
REV. 1
Version: V4.5513A1SF
2001 vintage.
KLA/TENCOR CRS 3000 est un équipement d'inspection de masque et de plaquettes conçu pour détecter les défauts causés par la lithographie et la gravure lors de la fabrication de semi-conducteurs. Il est utilisé pour inspecter les masques semi-conducteurs et les plaquettes pour détecter des caractéristiques telles que la rondeur, le profil de bord et d'autres motifs géométriques. Le système utilise des dispositifs et des technologies optiques haut de gamme de pointe, ainsi que des optiques de pointe, des sources d'éclairage et des logiciels d'imagerie. L'optique d'inspection combine des images aériennes haute résolution avec une série de niveaux de focalisation dédiés. Cela permet une évaluation rapide et précise des défauts tels que les détails tonaux, les espacements et le contraste. L'unité dispose également d'une ingénieuse machine d'alignement des plaquettes à 6 axes qui augmente la vitesse et la précision du processus d'inspection. Le scanner de l'outil peut zoomer sur les caractéristiques d'intérêt pour permettre une inspection plus détaillée. De plus, un processeur d'image haute vitesse est intégré à l'actif, ce qui augmente encore la vitesse et la précision du processus d'inspection. KLA CRS 3000 peut détecter des défauts aussi petits que 5 nanomètres de taille, avec des sensibilités jusqu'à 100 %. Le modèle a également une superposition de carte de plaquettes qui permet un niveau supplémentaire de détection de défauts. Les capacités d'inspection de TENCOR CRS-3000 comprennent le contrôle au niveau du suivi et les limites de mesure. En termes d'automatisation, l'équipement est hautement automatisé et peut être configuré pour inspecter sur une variété de tailles de plaquettes. Le système peut également être exploité à l'aide de son progiciel d'accompagnement. L'interface utilisateur est conviviale et intuitive, ce qui permet une interprétation rapide et précise des résultats des inspections. CRS-3000 est un masque très efficace et une unité d'inspection de plaquettes qui a été conçu avec les dernières technologies afin d'obtenir la plus grande précision et la plus grande vitesse. Son optique intégrée et son processeur d'image en font l'un des outils les plus fiables de l'industrie, permettant aux fabricants de semi-conducteurs d'identifier et de corriger rapidement et avec précision les défauts.
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