Occasion KLA / TENCOR DFIMS Handler for SP1 #9262248 à vendre en France

KLA/TENCOR DFIMS Handler for SP1 est un équipement de pointe entièrement automatisé d'inspection des plaquettes et masques conçu pour améliorer le contrôle des processus et la vitesse de fabrication des semi-conducteurs. Doté d'une plate-forme multi-capteurs capable de mesures optiques et électriques sur jusqu'à 500 plaquettes par heure, le système permet à fabs et OEM de fabriquer, tester et vérifier des étapes de processus avec un niveau de vitesse, de précision et de fiabilité sans précédent. KLA DFIMS Handler pour SP1 utilise une combinaison de technologies d'imagerie avancées telles que l'imagerie à faisceaux multiples d'acquisition (AMB), la corrélation numérique d'image (DIC) et les algorithmes de compréhension d'image pour fournir des données rapides et précises sur un large éventail de paramètres, y compris les caractéristiques de surface et de motifs. L'unité utilise une machine de contrôle de processus unique qui vérifie automatiquement les paramètres du processus tels que l'épaisseur de la grille, l'angle du flanc de la grille, la largeur de la ligne, la rugosité du bord de ligne, la taille du défaut et l'emplacement du défaut. Des outils avancés de traitement d'image permettent à l'outil d'effectuer des mesures détaillées au niveau du nanomètre (jusqu'à 2nm) de tous les paramètres du processus. De plus, l'actif peut mesurer l'uniformité globale d'une plaquette, même en détectant les plus petites variations de processus à un niveau inférieur. Ces données permettent au modèle de prendre des décisions utiles, par exemple quand des mesures correctives doivent être prises. Le SP1 a la capacité d'effectuer des inspections du côté avant et du côté arrière ou des couches de contact des dispositifs. En conséquence, il peut analyser les surfaces des dispositifs standards et spéciaux tels que des portes à haut rapport d'aspect, des extrémités de ligne, des vias et des tranchées. De plus, l'équipement utilise des outils spécialisés d'inspection de plaquettes multiplex, qui permettent au système d'analyser plusieurs paramètres à partir d'un seul balayage. Pour permettre l'acquisition de données précises, TENCOR DFIMS Handler pour SP1 a un processeur ultra-rapide avec 128 kb de cache qui peut traiter 6 à 7 millions de points de données chaque seconde. Pour améliorer le flux de travail, l'unité comprend des encodeurs positionnels intégrés et l'acquisition et l'analyse de données en temps réel pour une détection plus rapide et plus précise des défauts. La machine dispose d'une tête de vide flottante qui assure une plus grande flexibilité et fiabilité dans le positionnement des plaquettes. Pour garantir une meilleure qualité des performances du masque, l'outil utilise une technologie avancée d'inspection des bords qui garantit que l'alignement des bords de la matrice est correct avec une précision critique. Enfin, le SP1 dispose d'un outil d'exploitation convivial intuitif qui permet aux utilisateurs de personnaliser les paramètres du travail d'inspection en fonction de leurs propres exigences et préférences. Avec sa grande vitesse, sa précision et son large éventail de capacités de mesure, DFIMS Handler pour SP1 est l'outil idéal pour les fabricants de semi-conducteurs, les OEM et les laboratoires de recherche qui doivent garder des onglets étroits sur leurs performances de processus.