Occasion KLA / TENCOR eDR-5200 #9161799 à vendre en France
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Vendu
ID: 9161799
Style Vintage: 2010
E-Beam defect review system, 12"
Software OS: Windows
Automation online component: HSMS
Inline flow: Right
(2) WL Ports
E-Chuck
(1) Operation console
(1) EFEM Unit
(1) Power supply
(1) E-Rack
(1) Chiller
(3) Main body panels
2010 vintage.
KLA/TENCOR eDR-5200 est un équipement automatisé de nouvelle génération d'inspection des masques et plaquettes conçu pour répondre aux exigences les plus strictes. Il offre des performances sans précédent avec des vitesses élevées et une précision exceptionnelle. Les principales caractéristiques du système comprennent un grand champ de vision, un chemin d'imagerie efficace et une unité de balayage de faisceau très avancée. KLA eDR-5200 a un grand champ de vision de l'image (FOV) pouvant atteindre 9000 x 9000 microns. Ce FOV étendu permet une grande couverture de zone pour l'inspection des plaquettes et des masques avec un minimum de temps et d'effort. Associée à l'optique intégrée, aux technologies d'imagerie et à l'éclairage avancé, cette machine est capable de produire des images de qualité supérieure. En outre, l'outil dispose d'un chemin d'imagerie simplifié qui fournit une clarté et une qualité d'image optimales. Avec le capteur d'image et les technologies analytiques, l'actif est capable de détecter des défauts dans des modèles et des formes sophistiqués, comme des rayures, des contaminants, des protubérances et d'autres irrégularités de substrat. De plus, le modèle comporte un équipement de balayage de faisceau très avancé, adapté aux besoins spécifiques des masques et plaquettes inspectés. TENCOR eDR-5200 est conçu pour des performances rapides et fiables, et son système de balayage par faisceau est capable de scanner une plaquette entière de 4 "en moins de 30 minutes. EDR-5200 est un outil avancé pour l'inspection des masques et des plaquettes. Il dispose d'un grand FOV, d'un chemin d'imagerie simplifié et d'une unité de balayage de faisceau sophistiquée, qui lui permettent d'effectuer les tâches d'inspection les plus complexes, avec une vitesse et une précision incroyables. Alors que le développement des équipements de fabrication de semi-conducteurs se poursuit, KLA/TENCOR eDR-5200 restera un outil fiable et puissant pour l'inspection des masques et des plaquettes.
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