Occasion KLA / TENCOR eDR-5210 #293755072 à vendre en France
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ID: 293755072
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2010
Scanning Electron Microscope (SEM), 12"
2010 vintage.
KLA/TENCOR eDR-5210 est un équipement automatisé d'inspection des masques et plaquettes conçu pour détecter les défauts à la surface des matériaux semi-conducteurs. Il s'agit d'un système spécifique à une application conçu pour analyser et détecter rapidement les défauts sur la surface d'une plaquette, fournissant des résultats cohérents, reproductibles et fiables. L'unité offre des performances supérieures et utilise une suite puissante d'algorithmes d'inspection pour détecter un large éventail de défauts potentiels, y compris la réflectivité, le décalage, les vides, les bords de puce mal formés et les rayures. La machine utilise un outil 12 "d'optique de projection pour fournir la délimitation ultrasharpe des caractéristiques jusqu'à 4 microns et une gamme de niveaux de contraste dépendant de la nature du matériau inspecté. Les sources lumineuses comprennent une LED verte (550 nm) et une LED bleue (450 nm) pour la flexibilité opérationnelle. Le but de l'actif est d'identifier toute matière étrangère et d'évaluer les défauts potentiels à la surface de la plaquette. KLA eDR-5210 dispose également d'un modèle de mouvement multi-axes à grande vitesse avec une vitesse de déplacement linéaire de 20 m/s. L'optique d'alignement automatisée minimise la lumière rétrodiffusée et parasite, lui permettant de se déplacer avec précision et rapidité sur toute la surface pour détecter même le moindre défaut. Il peut balayer rapidement toute la surface de la plaquette de haut en bas et peut même détecter des défauts de polarité positive-négative, une fonctionnalité qui peut aider à réduire le temps de post-traitement. L'équipement est également capable d'optimiser un large éventail de techniques d'imagerie, y compris la détection de bords haute résolution, l'amélioration du contraste et la détection des défauts. Grâce à ses technologies d'imagerie sophistiquées, TENCOR EDR 5210 est en mesure de fournir des informations exactes pour améliorer la prise de décisions et l'utilisation des ressources. De plus, son fonctionnement entièrement automatisé réduit les coûts de main-d'oeuvre associés à l'inspection manuelle. Dans l'ensemble, TENCOR eDR-5210 est un système automatisé spécifique à une application qui offre des avantages importants aux fabricants de l'industrie des semi-conducteurs en offrant des débits plus élevés, une couverture complète des défauts et des résultats fiables. Sa puissante suite d'algorithmes d'inspection et sa gamme de techniques d'imagerie garantissent le plus haut niveau de précision et de performance.
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