Occasion KLA / TENCOR eDR-5210 #9112888 à vendre en France

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ID: 9112888
Defect review SEM RS 4-Point probe capable, 8"-12" EDX Open cassette system.
KLA/TENCOR eDR-5210 est un équipement d'inspection de masques et de plaquettes, conçu pour détecter les défauts et anomalies dans les photomasques et les plaquettes. Le système est composé de trois composants principaux : le scanner eDR-5000, l'étape d'inspection des plaquettes eDR-5400 et l'unité d'imagerie avancée K3. Le scanner eDR-5000 est le cœur de la machine et fournit l'imagerie haute résolution nécessaire pour capturer chaque défaut. Il utilise des optiques de haute précision et des caméras très sensibles pour capturer des images de plans pleins focaux de défauts sur des photomasques positifs et négatifs. Le scanner a un design modulaire qui est facilement modifié pour tenir compte de la variété des tailles et types de masques disponibles. L'étape d'inspection des plaquettes eDR-5400 est un outil automatisé qui permet au scanner de traiter plusieurs plaquettes simultanément, jusqu'à 24 à la fois. Il est conçu pour reconnaître la taille, le type et l'orientation des plaquettes pour faciliter le chargement des plaquettes. En outre, son débit élevé permet la capture automatique d'images sur chaque plaquette, ce qui assure une couverture complète pour les plaquettes à motifs et non à motifs. Enfin, l'actif d'imagerie K3 est la composante du modèle qui analyse et identifie les défauts sur les plaquettes. Cet équipement d'imagerie de pointe est capable de traiter de grands ensembles de données rapidement et avec précision pour détecter divers types de défauts, y compris les particules, les vides, les variations de la largeur des bords et des lignes, les caractéristiques manquantes et d'autres écarts. Il a également la capacité de distinguer des caractéristiques similaires pour réduire le risque de mauvaise identification. Le système KLA eDR-5210 est conçu pour fournir une imagerie haute résolution et une analyse rapide des défauts des photomasques et des plaquettes. Sa conception modulaire et son étape automatisée permettent à l'unité de traiter rapidement jusqu'à 24 plaquettes à la fois. L'outil d'imagerie avancé de la machine est capable de détecter avec précision et rapidité divers types de défauts, d'assurer des résultats fiables et d'augmenter l'efficacité de production.
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