Occasion KLA / TENCOR eDR-5210 #9278890 à vendre en France

KLA/TENCOR eDR-5210 est un équipement d'inspection de masque et de plaquettes conçu pour inspecter les dispositifs semi-conducteurs évolués au fur et à mesure qu'ils passent par la production. Ce système offre des capacités d'inspection polyvalentes combinées à une technologie d'imagerie et d'analyse de pointe pour s'assurer que les caractéristiques, défauts et autres caractéristiques d'un appareil sont correctement mesurés. L'unité dispose d'un étage de plaquettes double axe qui peut répondre à la plupart des exigences de taille de l'industrie pour une topographie uniforme de plaquettes. Il dispose également d'un champ de vision de 4x4 "M2.5 avec une taille de pixel de 0,55 µm × 0,55 µm. La machine utilise la technologie HADL (High Accuracy Defect Location), une technologie d'imagerie haute résolution et haute précision qui peut détecter des défauts inférieurs à 0,3 µm sur un champ de vision de 360 degrés. L'outil comprend également un algorithme Intelligent Scan Pattern Algorithm (ISPA) pour améliorer l'uniformité. ISPA est conçu pour détecter automatiquement les défauts et imposer des limites de défauts spécifiques en fonction des variables de processus et des compositions de matériaux, des paramètres de processus par lots et des paramètres de spécification. De plus, l'actif offre des outils exclusifs d'analyse de surface intelligente (ISA), y compris une technologie unique d'identification des particules (UPI), pour détecter et caractériser les particules, les linéarités et les vides. Le modèle utilise les dernières technologies d'imagerie et d'éclairage, qui comprennent l'éclairage 3D à LED, l'éclairage multi-plan à LED, un mode VSS (variable spot size) pour la détection des défauts sans recherche, et la réflectométrie laser pour améliorer le contraste des bords. Il offre également un puissant processeur d'image 16 bits avec traitement d'image numérique en temps réel pour calculer rapidement les défauts et les informations sur les particules. Enfin, KLA eDR-5210 propose trois logiciels : KLA Desktop Explorer, AOI Express et AOI Integrated. Ces paquets offrent des fonctionnalités telles que l'analyse de données en temps réel, la génération de rapports personnalisés, l'analyse et la surveillance, la cartographie des wafer et die, et le suivi des particules et des défauts. En outre, l'équipement offre des capacités avancées d'exportation de données, permettant aux clients d'exporter des données vers une variété d'outils de mesure et d'analyse externes. TENCOR EDR 5210 est un système d'inspection de masque et de plaquettes évolués et polyvalent qui offre des capacités d'image et d'analyse de pointe dans l'industrie. Grâce à ses technologies d'éclairage, d'imagerie et d'analyse de pointe, les clients peuvent avoir confiance dans la fiabilité et l'exactitude de ses résultats d'inspection. L'unité offre l'avantage d'une précision accrue des données et d'une détection et d'une analyse complètes des défauts pour une grande variété de dispositifs semi-conducteurs avancés et de circuits intégrés.