Occasion KLA / TENCOR eDR-5210 #9397337 à vendre en France

KLA/TENCOR eDR-5210 est un équipement de pointe d'inspection des masques et plaquettes conçu pour l'industrie de la fabrication de semi-conducteurs. Ce système combine les capacités d'inspection optique et d'inspection par faisceau électronique (faisceau électronique), ce qui permet une détection des défauts très précise et fiable pour diverses couches à motifs ou non. KLA eDR-5210 est idéal pour l'inspection et l'examen des masques à motifs ou non. L'unité automatisée d'inspection des masques et plaquettes est équipée d'une caméra CCD de haute précision et d'un logiciel MAP, ce qui lui permet de détecter rapidement les défauts subtils sur la surface des plaquettes et de capturer les motifs fins sur les images des masques. La machine a un champ d'exposition jusqu'à 6 pouces x 6 pouces, et la résolution maximale qu'elle peut atteindre est de 16 μ m. TENCOR EDR 5210 intègre une technologie d'imagerie de pointe, lui permettant de détecter et d'analyser un large éventail de défauts, y compris le rétrécissement de la largeur de la ligne, le dépassement de la largeur de la ligne, la rugosité des bords de ligne, les protubérances, les fosses, les courts de pont, les circuits ouverts et les courts. L'outil a une sensibilité aux défauts de 0,4 μ m, ce qui lui permet de capter les défauts même dans les conceptions de dispositifs de niveau nanométrique les plus difficiles. De plus, l'actif peut être analysé à divers niveaux d'exposition, y compris le champ noir, le champ lumineux, l'oblique et la transmission de la lumière. Le modèle intègre également des fonctions sophistiquées de reconnaissance de motifs, telles que la reconnaissance de motifs visuels programmables, la détection de défauts basée sur des fonctionnalités, et la segmentation automatisée. L'équipement dispose également de capacités de traitement avancées telles que la localisation des défauts, l'analyse de la forme des motifs et les mesures 3D. Tout cela permet au système de détecter et d'identifier rapidement et avec précision les défauts. KLA/TENCOR EDR 5210 est capable d'un débit de données élevé et convient parfaitement pour les applications de contrôle automatisé des défauts (DPReview). Il a une vitesse de débit rapide allant jusqu'à 200 impressions/heure, ce qui le rend idéal pour les inspections en ligne de production. L'unité est également capable de marquer les défauts détectés pour une révision et une classification faciles. TENCOR eDR-5210 est fiable, simple à utiliser et offre un bon rapport qualité-prix. Il nécessite un entretien minimal, est extrêmement convivial et hautement configurable pour répondre aux besoins spécifiques des clients. En conséquence, la machine est un excellent choix pour les fabricants de semi-conducteurs qui ont besoin de systèmes de détection de défauts fiables pour leur production.