Occasion KLA / TENCOR EFEM #9276613 à vendre en France

KLA/TENCOR EFEM est un équipement d'inspection de masques et de plaquettes conçu pour améliorer l'exactitude et l'efficacité de l'évaluation de la qualité. En effet, le système simplifie le processus de vérification de l'intégrité et de l'uniformité des plaquettes et masques semi-conducteurs en utilisant des algorithmes personnalisés qui détectent les défauts des plaquettes en temps réel. L'unité utilise à la fois des capacités d'inspection automatisées et manuelles, y compris l'analyse des rendements de surface, le comptage de précision, la planarité et les contrôles d'uniformité, permettant aux utilisateurs d'identifier et de corriger rapidement tout défaut. KLA EFEM fournit également des capacités avancées de classification des défauts. Cette fonctionnalité permet à la machine d'inspecter simultanément plusieurs masques sur une plaquette et de classer jusqu'à 25 classes différentes de type de défaut. TENCOR EFEM offre également de puissantes capacités de métrologie. À l'aide d'un outil d'imagerie haute résolution, l'actif est capable de mesurer les largeurs de lignes et les différences de CD avec une précision de 5nm et de détecter de petites particules de 2,5 um et moins. Il dispose également d'algorithmes multi-échantillonnage pour vérifier la rugosité des bords de ligne et les tailles des ponts/îlots. EFEM est capable d'inspecter une variété de formats, y compris des masques et substrats multicouches, différents types de réticules, et diverses exigences d'emballage. Grâce à son modèle d'imagerie haute résolution, l'équipement peut détecter des erreurs de géométrie telles que des biais de couture et de lithographie, ainsi que des erreurs dans les motifs et les matériaux de dépôt. En outre, le système peut effectuer une inspection optique, comme des essais de diffraction, pour des contrôles de résolution. En outre, KLA/TENCOR EFEM dispose d'une plate-forme ouverte et est compatible avec les systèmes d'exploitation Windows, Linux et Mac OS. Dans l'ensemble, KLA EFEM est un outil puissant et polyvalent pour l'inspection des masques et des plaquettes, offrant des capacités d'inspection automatiques et manuelles robustes avec des caractéristiques de métrologie avancées pour garantir la précision et l'efficacité.