Occasion KLA / TENCOR EFEM #9276743 à vendre en France

KLA/TENCOR EFEM est un équipement d'inspection de masques et de plaquettes conçu pour répondre aux exigences d'inspection de la production des masques photosensibles à quartz utilisés dans la fabrication de dispositifs semi-conducteurs. Il utilise des technologies d'inspection avancées exclusives telles que le champ lumineux, le champ sombre et l'imagerie Digital Path Difference (DPD) pour identifier les défauts tels que les particules et les matériaux étrangers sur le masque et la plaquette, ce qui permet de mesurer avec précision les différences subtiles entre les deux. Le système EFEM KLA peut être configuré avec des sources lumineuses visibles aux rayons UV et une gamme d'interfaces optiques telles que des objectifs, des agrandisseurs, des trous d'épingle et des marqueurs fiduciaires, lui permettant d'inspecter des masques et des plaquettes jusqu'à 25 cm de diamètre avec une résolution fine. Il comprend également des capacités de reconnaissance et de marquage des défauts, qui permettent une évaluation et une analyse rapides des défauts. En outre, l'unité comprend un logiciel flexible qui peut être adapté pour effectuer une variété de tâches, telles que le choix de la luminosité optimale de l'inspection, la mise au point automatique et l'affichage d'images défectueuses. La machine TENCOR EFEM est conçue pour réduire les coûts tout en offrant un haut degré de précision. Ses capacités d'inspection sont encore améliorées grâce à l'utilisation de technologies multiples, combinées à un spectromètre optique à grande vitesse pour saisir la taille, la forme et la position de chaque défaut. En outre, il peut être configuré avec un outil automatisé qui est capable de traiter davantage les données de défaut pour séparer les défauts faux et réels, permettant le flux le plus efficace de données de production. EFEM fournit des capacités d'inspection die-to-die, un actif polyvalent et convivial, et des fonctionnalités avancées de traitement d'image qui permettent l'analyse automatisée des défauts jusqu'aux détails les plus fins. Il est capable d'effectuer des inspections à la fois sur une seule plaquette et sur deux faces, et peut être configuré avec une large gamme d'étalonnages spéciaux et de tailles de champ d'étalonnage. Le modèle est également capable d'intégrations avec d'autres équipements de fabrication tels que les systèmes de gravure et de métrologie, permettant une comparaison automatisée et la reconnaissance des défauts. Dans l'ensemble, KLA/TENCOR EFEM est un équipement avancé d'inspection des masques et des plaquettes conçu pour fournir des résultats de haute précision avec un coût et un effort minimes. Il est capable d'inspecter une variété de masques à quartz et de plaquettes jusqu'à 25 cm de diamètre, et offre une gamme de fonctionnalités automatisées intégrées pour une analyse rapide des défauts.