Occasion KLA / TENCOR EFEM #9278728 à vendre en France

KLA/TENCOR EFEM est un équipement d'inspection de masque et de plaquette, conçu pour détecter les défauts sur les couches critiques du masque et de la plaquette. Le système est basé sur la méthode d'inspection de la forme libre électron-faisceau, ou KLA EFEM. TENCOR EFEM est une approche innovante de l'inspection des plaquettes et des masques qui ne nécessite aucune projection optique pendant le processus d'inspection. Au lieu de cela, il utilise un faisceau focalisé d'électrons pour inspecter le masque et la plaquette. Ce faisceau d'électrons a une large gamme de possibilités de distinguer différents types de défauts. L'unité EFEM se compose de plusieurs composants. La machine comprend la source de faisceau d'électrons, l'optique, l'outil de détection et d'analyse du signal et la carte de contrôle des actifs. La source de faisceau d'électrons est conçue pour générer un faisceau d'électrons de haute énergie avec un profil de faisceau focalisé. Ce faisceau est alors dirigé vers un point spécifique du masque ou de la plaquette, ce qui permet au faisceau d'électrons focalisés d'examiner les particularités du masque ou de la plaquette. L'optique consiste en un ensemble de lentilles qui focalisent le faisceau sur le masque ou la plaquette, permettant une imagerie précise des caractéristiques. Le modèle de détection et d'analyse du signal est chargé d'interpréter les images produites par le faisceau d'électrons, ce qui lui permet de détecter la présence de défauts de masque ou de plaquette. Le conseil de contrôle est le cerveau de l'équipement. Il permet de diriger précisément le faisceau d'électrons vers les caractéristiques spécifiques du masque ou de la plaquette en contrôlant la déviation du faisceau d'électrons, le débit du faisceau et d'autres paramètres. La carte de contrôle assure également l'interface entre le système et son opérateur. L'unité EFEM KLA/TENCOR s'est avérée très fiable pour l'inspection des masques et des plaquettes. Il permet une capacité à haute résolution de manière non-contact et non-destructive. En outre, il offre d'excellentes capacités de détection de défauts avec sa capacité à distinguer différents types de défauts. La machine KLA est devenue un choix populaire pour de nombreuses installations de fabrication de semi-conducteurs, fournissant des résultats d'inspection fiables et améliorant le contrôle de la qualité.