Occasion KLA / TENCOR es20 #9093683 à vendre en France

KLA/TENCOR es20 est un équipement d'inspection de masque et de plaquettes qui peut être utilisé pour détecter des défauts dans les plaquettes de silicium. Avec un capteur d'image haute résolution et une classification automatique des défauts, KLA es20 peut détecter avec précision même de très petits défauts. Le système utilise l'éclairage de champ lumineux et un capteur d'image pour capturer les images de lumière blanche de la plaquette et de ses défauts. Ces images sont ensuite traitées par le moteur de classification des défauts, qui supprime les fausses détections de défauts positifs et attribue un type de classement à chaque défaut. L'unité dispose d'un moteur breveté de classification des défauts qui peut détecter un large éventail de types de défauts, y compris CD, hauteur, dopant et défauts de particules. TENCOR es20 utilise une machine de manutention de 8 pouces avec un capteur d'image CCD 1600x1200 résolution. Ce capteur d'image a une ouverture numérique optimale de 0,39 et une taille de pixel de 0,04 micromètres, fournissant une résolution d'image de 9 micromètres. Le moteur de classification des défauts utilise une combinaison d'algorithmes avancés et de techniques de reconnaissance des motifs pour identifier avec précision les défauts et attribuer les types de classification. Sa fonction temps réel permet à l'utilisateur d'identifier la structure réelle du défaut, permettant une classification plus rapide du défaut. Es20 dispose également de la technologie Advanced Maskless Repair (AMR), qui est capable de réparer automatiquement les défauts détectés. L'outil utilise un faisceau ionique focalisé (FIB) pour supprimer le défaut, ce qui permet de réparer automatiquement le défaut sans avoir besoin d'un ensemble de masques coûteux. KLA/TENCOR es20 dispose de la flexibilité nécessaire pour être intégrée dans une ligne de production préexistante. L'actif utilise un certain nombre de données de processus, y compris des données d'affichage, de contrôle, de communication et de métrologie. Cela permet à l'opérateur de configurer facilement les paramètres du modèle et de personnaliser son fonctionnement pour différentes conditions de défaut et configurations de plaquettes. En résumé, KLA es20 est un puissant équipement d'inspection de masque et de plaquettes, capable de détecter de petits défauts avec son capteur d'image haute résolution et son moteur de classification automatique des défauts. Ses fonctionnalités avancées, telles que la technologie AMR, permettent aux utilisateurs de réparer automatiquement les défauts détectés sans avoir besoin d'ensembles de masques coûteux. La flexibilité du système à intégrer dans une ligne de production préexistante en fait également un choix idéal pour de nombreux fabricants de semi-conducteurs.