Occasion KLA / TENCOR es20 #9145312 à vendre en France
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ID: 9145312
Taille de la plaquette: 8"
E-beam defect inspection system, 8"
Detection of yield-limiting defect types
Sub- 0.18-micron technologies and copper interconnect processes
Detects sub-design rule particles and patterning defects
Detects defects in very high aspect ratio structures
Detects electrical defects such as voids.
KLA/TENCOR es20 est un système d'inspection de masques et de plaquettes conçu pour répondre aux exigences strictes de l'industrie des semi-conducteurs. Combinant imagerie avancée, détection automatisée des défauts, révision automatisée et expertise technique étendue, KLA es20 offre des résultats supérieurs. La composante imagerie de TENCOR es20 fournit des images haute résolution de siles en un seul balayage, réduisant le temps de balayage et le volume d'échantillon. Les images sont capturées avec un appareil photo numérique VARMITouch de 5 mégapixels et des éléments optiques avancés, y compris une banque de 4 sources d'éclairage et un strobe Xenon de précision. Cela garantit que les siles sont détectés, mesurés et analysés avec précision. Le composant automatisé de détection des défauts de es20 est alimenté par des algorithmes AOI et SEM avancés. Les données d'étalonnage permettent au système de détecter automatiquement un large éventail de défauts, y compris des particules, des défauts ponctuels, des défauts de ligne et des défauts fractals. KLA/TENCOR es20 a également la capacité de détecter des motifs de contraste faible, tels que ceux trouvés gravés dans 1-2 μ m épaisseurs de couche. La composante de révision automatisée de KLA es20 exploite les données de défaut récupérées par les technologies d'imagerie et de détection des défauts. L'intégration par l'IA de TENCOR es20 du traitement des images et des classificateurs de défauts sensibles au contexte assure un examen automatisé précis des puces et des décès. Cela réduit le temps consacré à l'examen manuel, de sorte que les échantillons peuvent être traités plus rapidement et plus efficacement. L'équipe d'ingénierie de es20 s'est engagée à fournir un soutien complet à nos clients. Leur expertise s'étend au-delà des algorithmes accélérant l'inspection des plaquettes - l'équipe fournit également des conseils optimisés aux fabs clients et aux nœuds technologiques, ainsi qu'une formation aux connaissances sur mesure, pour assurer le maximum de résultats de KLA/TENCOR es20. KLA es20 est un système avancé d'inspection des masques et des plaquettes, offrant à nos clients la plus grande précision pour l'inspection des plaquettes. Son appareil photo numérique de 5 mégapixels, ses sources d'éclairage, ses algorithmes AOI et SEM, son examen automatisé, son expertise technique et son support complet garantissent que les résultats sont à la fois optimisés et reproductibles.
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