Occasion KLA / TENCOR es20xp #293592548 à vendre en France
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ID: 293592548
E-Beam inspection system, parts machine
Chamber
Robot
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KLA/TENCOR es20xp est un équipement d'inspection Masque et Wafer haute performance spécialement conçu pour répondre aux exigences strictes de détection des défauts de masque et de wafer de l'industrie actuelle de la lithographie optique. KLA ES20 XP fournit un examen des défauts très efficace, économique et précis tout en accélérant le processus de fabrication des plaquettes et en raccourcissant le délai de mise sur le marché. TENCOR ES 20 XP utilise un système unique de balayage triple axe pour détecter et analyser avec précision les défauts microscopiques qui peuvent causer des défauts dans le dispositif ou le rendement. TENCOR es20xp utilise une unité d'imagerie GENII brevetée pour effectuer à la fois l'imagerie de champ lumineux et de champ sombre du masque ou de la plaquette. Cette machine d'imagerie permet une plus grande résolution et une sensibilité accrue pour la détection des défauts. ES20 XP offre également un certain nombre de fonctionnalités avancées, y compris la taille variable de la fente, champ de vision variable, foyer variable et contraste variable pour l'inspection la plus complète des défauts de masque et de plaquette. KLA es20xp utilise un outil breveté de classification automatisée des défauts pour identifier et classer les défauts. Les défauts sont classés par taille, forme, emplacement, orientation et composition. En outre, es20xp peut également détecter le pontage de processus, le pontage de ligne et les défauts ouverts afin de fournir la vue la plus complète des défauts dans le dispositif ou la plaquette. ES 20 XP se distingue des autres systèmes par son débit élevé, avec des débits de balayage jusqu'à 200 lignes par seconde. En outre, KLA/TENCOR ES20 XP est extrêmement fiable et précis, avec une précision de mesure répétable pouvant atteindre 1,5 micron lors de la mesure de la taille critique des défauts sur les masques ou les plaquettes. En plus des capacités d'inspection étonnantes, KLA/TENCOR ES 20 XP offre une interface Homme Machine (HMI) conviviale et facile à utiliser qui assure un contrôle complet sur l'exploitation de TENCOR ES20 XP. L'IMH convivial permet aux utilisateurs de configurer rapidement et facilement l'actif, d'examiner les données et de rendre compte des résultats. Les fonctions intégrées d'analyse statistique et d'établissement de rapports facilitent l'examen et l'analyse des données. KLA ES 20 XP fournit des solutions de productivité avancées pour l'inspection des masques et des plaquettes et l'examen des défauts. La qualité et la précision élevées combinées à la fiabilité du modèle d'inspection se traduisent par des rendements améliorés et des temps d'arrêt réduits du processus, ce qui accélère le délai de mise sur le marché pour les fabricants de dispositifs.
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